描述：韩国Animotion安尼莫申运动平台激光设备AniMotion Tech 主营高精度运动平台与激光工艺设备，代理 Aerotech 真空平台、六自由度并联机构，自研激光钻孔、激光修版、激光微调设备。平台运动精度高，可适配真空环境，面向半导体、显示、精密电子加工，可提供整套激光工艺方案。

韩国Animotion安尼莫申运动平台激光设备韩国Animotion安尼莫申运动平台激光设备

产品介绍

产品细节图产品页面可下载平台、激光整机实拍，包含六自由度 Hexapod 并联平台、真空运动平台、激光加工整机。平台金属结构精密加工，光学组件防护设计，线缆做屏蔽处理。

产品性能

1. 并联六自由度平台可实现多轴姿态微调，定位精度高；

2. 真空版本适配半导体真空工艺腔体；

3. 自研激光设备可完成钻孔、修版、微调等精密加工；

4. 平台支持高速点位运动，运动稳定性好；

5. 可配套上位机软件，自定义加工轨迹。

用材平台底座采用高刚性合金；运动导轨选用高精度进口导轨；光学激光头采用特种光学镜片；真空平台壳体采用低放气不锈钢，适配真空工况。

参数表

表格

型号Aerotech 代理真空 UHV 平台、Hexapod 六自由度平台；自研激光钻孔机、激光修版机、激光微调设备。

用途半导体掩膜版修版、晶圆激光钻孔、显示面板精密加工、光学元件检测、精密电子元件微调。

包装整机采用防震木箱，光学镜头单独防震盒，平台导轨、光学面做保护膜防护，配套出厂校准报告、设备操作手册。

使用说明设备放置在减震地基，恒温车间；激光光路避免灰尘污染；开机前执行回原点；定期清洁光学窗口；真空机型需要定期检漏。禁止超行程运行。