描述：日本大亚真空diavac一体化热阴极电离真空计TRI-10-N25Y 为日本 diavac 大亚真空一体化热阴极电离真空计，采用 Bayard-Alpert 热阴极离子测量原理，规管与信号处理单元集成一体。测量区间覆盖高真空至超高真空区间，自带模拟输出与 RS485 数字通讯，内置继电器设定点输出。设备搭载 NW25 法兰接口，结构紧凑，可直接接入真空腔体，满足半导体、镀膜设备真空监测，用于真空环

日本大亚真空diavac一体化热阴极电离真空计日本大亚真空diavac一体化热阴极电离真空计

产品细节图整机一体化小型模块，前端为 NW25 标准真空法兰，用于对接真空腔体；主体外壳为铝合金壳体，尾部配置 9P D-SUB 信号连接器。规管内部集成热阴极、阳极与离子收集极，整体重量轻便。壳体防护等级约 IP40，表面抗氧化处理，安装方式灵活，可直接装配在真空腔壁，无需单独配套控制主机，减少设备占用空间。

产品性能依托热阴极电离原理，灯丝发射电子碰撞气体分子产生离子，离子电流大小对应真空压力。测量范围 1.33×10⁻⁷～6.66Pa，氮气典型精度 ±15%。支持 DC0~10V 模拟信号输出，同时搭载两线式半双工 RS485 数字通讯，可直接接入 PLC 实现远程读取。内置 1 路继电器接点输出，可设置真空阈值，实现设备联锁保护。整机功耗 13W，供电 DC20~28V，适配工业真空系统长期连续监测，具备过压保护，压力异常时保护灯丝延长使用寿命。

用材真空接触部件采用 SUS316/SUS304 不锈钢；阴极采用氧化钇涂层铱材质，阳极与收集极选用钽、钨材料；绝缘部件采用高纯度玻璃与镍组件；外壳使用铝合金阳极氧化处理；信号连接器为 D-SUB 金属外壳，屏蔽抗干扰，降低工业环境电磁噪声对真空读数的影响。

参数表型号：TRI-10-N25Y品牌：diavac（日本大亚真空）测量原理：热阴极电离（Bayard-Alpert）测量范围：1.33×10⁻⁷～6.66Pa测量精度：±15%（氮气典型值）供电：DC20～28V，功率 13W模拟输出：DC0～10V数字通讯：RS485 两线半双工接点输出：1 路继电器设定点输出法兰规格：NW25防护等级：IP40 相当整机重量：390g合规：RoHS、CE

型号TRI-10-N25Y 属于 TRI-10 系列一体化电离真空计，NW25 法兰；同系列 TRI-10-C70Y 为 ICF70 法兰版本，适配不同真空腔体接口。

用途用于真空镀膜、半导体工艺、真空热处理、分析仪器、科研实验等高真空系统压力监测。实时检测腔体真空度，输出信号接入控制系统，达到设定压力触发继电器联锁，用于真空工艺监控、腔体检漏、设备保护。

包装产品独立防震纸盒包装，真空法兰端配有防尘保护盖；配套信号线、安装密封件、原厂说明书、校验报告。内部缓冲泡沫隔离，保护精密电离规管，防止运输震动损伤灯丝。

使用说明安装前确认法兰密封面无划痕、杂质，清洁密封件，将设备安装于真空腔体 NW25 接口，紧固法兰。连接 DC 供电与 D-SUB 通讯线缆，确认接线无误。抽真空至合适区间后启动真空计，灯丝预热完成后读取真空压力数值。可设置阈值，启用继电器联锁。停机前先释放真空或关闭灯丝电源；严禁在大气环境长时间点亮灯丝，避免烧毁