描述：日本ballwave FT-450WT分离型超微量水分计FT-450WT 属于 FalconTrace 系列，采用球型 SAW 声表面波传感器，传感器探头与主机分体式结构，用于工业高纯气体纯度管理，检测气体内超微量水分。测量露点区间 - 100℃～-42℃，浓度量程 10ppbv～100ppmv，响应速度 1 秒以内。传感器单元体积小巧，可直接集成在气瓶柜、气体纯化器管路内，主机单独放置。

日本ballwave FT-450WT分离型超微量水分计日本ballwave FT-450WT分离型超微量水分计

FT-450WT 属于 FalconTrace 系列，采用球型 SAW 声表面波传感器，传感器探头与主机分体式结构，用于工业高纯气体纯度管理，检测气体内超微量水分。测量露点区间 - 100℃～-42℃，浓度量程 10ppbv～100ppmv，响应速度 1 秒以内。传感器单元体积小巧，可直接集成在气瓶柜、气体纯化器管路内，主机单独放置。具备实时监测、背景气体组分同步分析能力，自带数字信号输出，适配半导体特种气体、高纯氮气、氩气、氢气等在线水分监控，保障供气品质稳定。

核心参数表

表格

产品细节图

整套设备由传感器检测单元与信号处理主机两部分组成，中间依靠信号线缆连接，实现分离式安装。小型传感器单元自带气体流路接口，可直接安装在狭小的气瓶柜、纯化设备内部的气体管路上，贴近采样点，减少管路吸附带来的测量滞后。主机箱体搭载数据处理电路，可实时显示露点、水分浓度数值，输出监测信号到上位控制系统。传感器核心为石英晶球 SAW 传感元件，表面涂覆专用敏感膜，对水分子选择性识别，抗部分背景气体干扰。设备气路采用耐腐蚀不锈钢材质，适配高纯特种气体管路。

产品性能

1. 分体式分离设计，传感器探头就近安装在工艺管路，主机放置在设备外部，灵活适配半导体气体柜、纯化机组等狭小空间改造项目，布线布置自由度高。

2. 球 SAW 传感技术，响应速度极快，1 秒内捕捉水分浓度变化，实时监控气体管路里水分瞬时波动，及时发现泄漏或者纯化器失效异常。

3. ppb 级别超高灵敏度，可检出 1ppbv 微量水，专门用于高纯工业气体品质管控，满足半导体制造对超低水分的工艺要求。

4. 可同步完成水分检测 + 背景气体组分分析，不用针对每种载气重新校正参数，多种气体切换使用时操作简便。

5. 石英晶球传感器耐腐蚀性强，体积小巧，长期运行稳定性好；数字信号输出，方便接入工厂 DCS 系统，实现在线连续监控与报警。

用材

传感器气路本体采用不锈钢材质，适配超高纯气体输送，降低气体吸附污染；核心传感元件为石英晶体球，搭配专用化学敏感薄膜。主机壳体铝合金加工，具备电磁屏蔽效果，抵御工厂电气设备干扰。信号线缆采用双层屏蔽信号线，保证微弱传感信号远距离稳定传输。内部电路板带有防护涂层，减少粉尘、湿气对电路的影响，密封接头选用耐老化密封件，防止气体泄漏。

用途

用于半导体行业特种气体、高纯工业气体制造、出厂质检，气瓶柜、气体纯化装置内在线水分监测，管控供气管道微量水分。适用于电子材料、气体供应企业、新材料实验室，监测氮气、氩气、氦气、氢气等高纯气体中的微量水分，避免水分造成晶圆腐蚀、颗粒增多、产品良率下降。不适合含有高浓度腐蚀性、可凝结重烃的气体样品。

包装

出口木箱独立包装，传感器单元、信号主机、气路接头、屏蔽信号线、操作手册、出厂校准证书分开缓冲防护。包装清单包含 FT-450WT 传感器单元、信号处理主机、连接信号线、标准气体接头、说明书、出厂检测证书；配套标准校准气体属于选购配件，单独订货。木箱加固防潮，避免运输震动损伤精密石英球传感元件。

使用说明

将传感器单元安装在高纯气体采样管路，做好气路检漏，传感器与主机之间连接屏蔽信号线，接入 AC 电源。通入待测气体，设备即可实时读取露点、水分浓度数值，信号输出至上位监控系统。开机前充分吹扫管路，减少管路残留水分干扰。定期使用标准湿气源进行校准，维持测量准确度。停机后保持管路惰性气体保护，防止传感器吸附环境水汽。