描述：日本堀场 CS-700 药液浓度监测仪半导体这款半导体用液体化学浓度监测仪，可在线监测蚀刻、清洗等工序药液的组分浓度。采用光学方式测量，不接触药液，减少污染风险。数据可输出至工艺控制系统，用于补液与更换判定。适合晶圆厂与药液供应系统的浓度管控，华中地区可协助流路与信号对接。

日本堀场 CS-700 药液浓度监测仪半导体日本堀场 CS-700 药液浓度监测仪半导体

这款半导体用液体化学浓度监测仪，可在线监测蚀刻、清洗等工序药液的组分浓度。采用光学方式测量，不接触药液，减少污染风险。数据可输出至工艺控制系统，用于补液与更换判定。适合晶圆厂与药液供应系统的浓度管控，华中地区可协助流路与信号对接。

产品介绍产品细节图主机为机柜内安装的分析单元，正面为显示与状态指示，背面为取样管路进出口与信号接口。取样流路经旁通从主管路引出，测后回流或排废，不干扰主线流量。光学测量单元装在流路一侧，通过视窗与药液隔开，避免直接接触。整机可按需装于药液供应柜或工艺设备旁，管路接口为标准接头，便于与既有流路对接。

产品性能利用药液对特定波长的吸收或折射特性随浓度变化的规律，通过光学测量换算浓度值。测量为非接触式，传感部分不与药液直接接触，减少颗粒引入与交叉污染，也降低腐蚀损耗。可连续在线采集，实时反映浓度变化，当浓度偏离设定区间时给出提示，用于触发补液或换液动作。支持多组分监测配置，按工艺需要选择测量对象。数据可输出至控制系统，形成闭环或半闭环管理。取样流路设计考虑气泡与颗粒的影响，需保证流路充满且无明显气泡。

用材机柜外壳为金属，耐洁净室环境；流路管件为耐化学腐蚀材质，按药液种类选配；光学视窗为耐蚀透光材料；接头为耐蚀金属件；密封件按药液兼容性选择；内部电路做防潮与抗干扰处理。

参数表

表格

型号按测量组分与流路形式区分配置，选型时确认药液种类、浓度区间、管路接口与主管路压力，并确定是否需要多组分同时监测。

用途蚀刻液浓度在线监控、清洗药液浓度管理、显影液浓度检测、药液供应系统补液控制、工艺稳定性跟踪、来料药液化验辅助。

包装木箱包装，主机与流路附件分开固定，光学视窗加保护盖。管路接头、说明书与出厂检测记录分袋放置。

使用说明安装时确认旁通取样点位于主流路稳定段，避免气泡聚集处。接好进出管路，先通纯水或载液检漏，确认无渗漏再通药液。开机预热待光学单元稳定，用标准液做零点与量程核对。运行中定期检查流路有无气泡与结晶堵塞，视窗污染会导致读数漂移，需按周期清洁或更换。停机时先通纯水冲洗流路，再断流。