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M12/M13/M14/M15Bronkhorst科里奥利质量流量控制器 Bronkhorst科里奥利质量流量控制器 Bronkhorst Mini CORI-FLOW 系列（M12/M13/M14/M15）是专为极低流量场景打造的科里奥利质量流量计 / 控制器，是布琅轲锶特在微量流体测量领域的技术突破。

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更新日期
2026-04-29

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FRC美国工业级高精密多通道气体流量控制美国工业级高精密多通道气体流量控制 Pivotal Systems FRC 是美国 Pivotal Systems 推出的基于位置控制技术的常开式流量比控制器（Flow Ratio Controller），专为半导体先进制程中的多气体配比工艺设计，采用 4 通道集成方案，可实现多股气体的精准流量比例控制，是原子层沉积（ALD）、等离子体工艺等对气体配比要求场景的核心部件。

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更新日期
2026-04-28

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63
PC美国先进制程压力稳定控制器压力控制美国先进制程压力稳定控制器压力控制 Pivotal Systems PC 是美国 Pivotal Systems 推出的基于成熟 GFC 技术的上下游压力控制器（Pressure Controller），专为半导体先进制程打造，可实现上下游压力的精准闭环控制，解决工艺腔室压力波动问题，是 CVD、刻蚀、ALD 等对压力稳定性要求场景的核心控制部件。

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2026-04-28

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GFC-S+美国非热式位置控制常开式流量比控制器美国非热式位置控制常开式流量比控制器 Pivotal Systems FRC 是美国 Pivotal Systems 推出的基于位置控制技术的常开式流量比控制器（Flow Ratio Controller），专为半导体先进制程中的多气体配比工艺设计，采用 4 通道集成方案，可实现多股气体的精准流量比例控制，是原子层沉积（ALD）、等离子体工艺等对气体配比要求场景的核心部件。

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2026-04-28

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61
GFC-T美国Pivotal Systems热式气体流量控制器美国Pivotal Systems热式气体流量控制器 Pivotal Systems GFC-T 是美国 Pivotal Systems 推出的传统热式原理气体流量控制器（MFC），专为对成本敏感、工况稳定的工业场景设计，基于成熟的热传导测量技术，是半导体制造、工业制程中广泛应用的经典流量控制方案。

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2026-04-28

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