描述：德国普发高性能涡轮分子泵工业级高真空设备
半导体行业：晶圆沉积、刻蚀、离子注入、真空检测设备高真空主泵。

真空镀膜：光学镀膜、PVD/CVD、磁控溅射设备高真空获得。

德国普发高性能涡轮分子泵工业级高真空设备

五大核心产品优势

1. 高抽速 + 高压缩比，超高真空快速达成

氮气抽速 260 L/s，轻气体（H₂/He）抽速优异，适配小分子气体高真空需求。

超高压缩比（Ar 达 10⁷），残余气体背景极低，满足质谱、半导体等严苛场景

2. 复合轴承技术，长寿命 + 低维护

前级侧陶瓷球轴承 + 高真空侧永磁径向轴承，免电磁线圈，磨损极小。

保养间隔约 4 年，现场 30 分钟可完成轴承更换，运维成本低

3. 集成驱动 + 智能监控，即插即用

内置 TC400 控制器，无需额外驱动，搭配 DCU 电源即可运行。

自诊断系统实时监控转速、温度、电流，支持远程告警与故障定位。

4. 紧凑轻量化，安装灵活适配多场景

体积小、重量轻（12 kg），任意角度安装，适配机柜、腔体侧面 / 顶部安装。

风冷 / 水冷可选，兼容高气体负荷与连续工业运行。

5. 工业级可靠性，严苛工况稳定运行

IP54 防护，抗粉尘与湿气；全金属结构，低振动、低噪音（＜50 dB）。

适配半导体、镀膜、冶金、分析仪器等 24/7 连续生产场景

德国普发高性能涡轮分子泵工业级高真空设备典型应用场景

半导体行业：晶圆沉积、刻蚀、离子注入、真空检测设备高真空主泵。

真空镀膜：光学镀膜、PVD/CVD、磁控溅射设备高真空获得。

分析仪器：质谱（MS）、电子显微镜（SEM/TEM）、X 射线衍射仪超高真空系统。

工业科研：真空热处理、钎焊、空间模拟、加速器、核聚变装置高真空应用。

通用高真空：检漏设备、真空炉、冷冻干燥、环境测试舱等。