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描述：日本纳普森napson 扩散片均匀度检测仪。分S 宽量程、H 高阻型两个版本，配套 RG-2000（最大 8 英寸 / 156×156mm）、RG-3000（最大 12 英寸 / 210×210mm）两款半自动 XY 电动载台组成成套测量系统，依托标准四点探针法，电脑编程自定义测试点位、阵列排布，自动完成整片晶圆多点测试。

产品型号：RT-3000/RG-2000
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-03
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本纳普森napson 扩散片均匀度检测仪

1、产品组成

整套设备由 RT-3000 测量主机、对应型号 XY 电动载台、原装四探针探头、Mapping 测试软件以及配套线缆组成。RG-2000 适配八寸以内晶圆与 166 规格光伏硅片，RG-3000 加大台面可放置十二寸晶圆以及 210mm 大尺寸光伏方片。

2、主机 RT-3000 参数区分

RT-3000S 为常规通用机型，覆盖常规硅片、中低阻镀膜检测，体电阻率测量区间 100μΩ・cm 至 1MΩ・cm，方块电阻从 1mΩ/□延伸至 10MΩ/□；RT-3000H 主打超高阻材料测试，最高可测 1GΩ/□，适配高阻 ITO、绝缘系镀膜。主机机身紧凑，自重六公斤左右，开机自带整机线路自检功能，全量程测量误差控制在 ±2%。

3、RG-2000 与 RG-3000 平台说明

RG-2000 机身尺寸偏小，自重九十公斤左右，多用于八寸及以下圆形晶圆、中小型光伏硅片；RG-3000 台面加宽加深，自重约一百一十公斤，满足十二寸大晶圆、210 全规格光伏片放置。两款平台均搭载 XY 轴精密步进驱动与 Z 轴探针电动升降结构，点位重复定位精度优异，配备上掀密封防尘舱门，支持机身按键手动操控与电脑软件程控两种操作模式。

日本纳普森napson 扩散片均匀度检测仪

4、产品核心优势

1. 点位自由编程设置，可阵列排布也可自定义随机点位，单片样品实现数百至上千个点位自动连续测试，无需人工挪动试样。

2. 内置三项补偿算法，针对硅材边缘阻值偏移、环境温度波动、样品实际厚度自动校正数据，规避实测误差。

3. 软件自动换算薄膜等效厚度，同步保存全部检测数据，生成 2D 平面云图与 3D 立体分布图，直观查找阻值异常区域。

4. 全封闭防尘舱体设计，阻挡车间粉尘附着探针，有效降低探针磨损，适合工厂全天候不间断检测。

5. 主机两种量程可选，普通硅片选用 S 款，高阻特种薄膜选用 H 款，覆盖低阻半导体到超高阻光学薄膜全品类。

6. 主机与平台原厂通讯协议对接，数据实时互通，后期可按需更换不同规格探针，适配各类厚薄、软硬试样。

5、适用应用领域

半导体领域用于 6 寸 8 寸 12 寸单多晶硅晶圆、外延片、离子注入片、碳化硅氮化镓衬底来料检测；光伏行业适配 166/182/210 各类单晶多晶电池片，PERC、TOPCON、HJT 各工艺扩散层均匀度管控；光电行业检测 ITO 导电玻璃、LTPS、IGZO 液晶基板各类蒸镀薄膜；新材料方向包含石墨烯、银纳米线、DLC 类金刚石涂层等导电材料研发测试。

6、可选配配件

可按需选购高低阻专用替换探针、恒温控温载台、异形样品限位治具；如需升级全自动工况可加装自动上下料模组，另可采购原厂备用钨丝探针、腔体密封配件、导轨保养耗材。

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1、产品组成

2、主机 RT-3000 参数区分

3、RG-2000 与 RG-3000 平台说明

4、产品核心优势

5、适用应用领域

6、可选配配件

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