产品展示/ PRODUCTS PLAY

我的位置：首页 > 产品展示 > 买验设备 > 镀膜机 > 日本sanvac 真空沉积设备精密蒸镀成膜装置

产品分类 / PRODUCT

买验设备

超声波音压计镀膜机研磨机切割机恒温器清洗机加工机除湿机溅射设备涂布机分配器喷雾装置臭氧机旋转蒸发仪超声波清洗机电炉

查看全部产品

描述：日本sanvac 真空沉积设备精密蒸镀成膜装置
RD 系列与 ED 系列是日本 SANVAC 打造的两大主流真空沉积设备，RD 系列主打纯电阻加热结构，机型小巧多样，偏向实验研发、教学及有机材料、贵金属薄膜制备；ED 系列采用电阻加热与电子束蒸发相结合的复合架构，功能更全面，可兼容金属、氧化物、半导体等多种材质镀膜，兼顾试样研发与工业化中试生产。

产品型号：RD/ED 系列
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-15
访问量：16

产品咨询联系我们

产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本sanvac 真空沉积设备精密蒸镀成膜装置

产品概述

两大系列设备均基于高真空蒸镀原理设计，依托成熟的真空机组构建密闭高真空环境，有效避免镀膜过程中材料氧化、杂质混入，保障薄膜纯度与附着力。RD 系列以电阻加热蒸发为核心，结构精简、性价比突出，细分多款机型，可针对性适配单一材料或多层薄膜实验，部分机型配备前置腔体，能够在不破坏主腔真空的前提下完成基板更换，提升作业效率。ED 系列在电阻加热基础上集成电子束蒸发系统，蒸发能力更强，可处理高熔点材料，同时搭载基板加热、基板旋转等辅助机构，工艺拓展性更强，自动化程度更高，从参数调节到整道镀膜工序均可实现自动化运行，适配从小样试制到中小批量量产的全流程使用。整机按照工业标准打造，腔体密封可靠，长期运行稳定性强，维护体系完整。

结构与设计

设备整体采用一体化柜体结构，腔体选用高强度材质加工而成，密封工艺精良，能够长时间维持稳定真空环境，抽气效率高，真空恢复速度快。RD 系列内部搭载多组电阻加热蒸发源，布局紧凑合理，不同机型配置蒸发源数量不同，可支持单源或双源同步成膜，电气部分采用晶闸管调控，加热功率调节精准。ED 系列融合双套蒸发系统，电子枪与电阻加热单元分区布置，互不干扰，坩埚配置丰富，可切换不同镀膜原料。两款系列均配备可视化操作面板，功能分区清晰，参数设置简单直观；基板工位经过优化，部分机型支持基板升降、旋转与加热，受热均匀，进一步提升整片薄膜的一致性。设备管路、线路规整排布，防护措施到位，炉门启闭顺畅，密封配件耐用，日常检修、部件更换都十分便捷。

日本sanvac 真空沉积设备精密蒸镀成膜装置

核心功能

RD 系列依靠电阻加热实现材料蒸发，支持多种频率与功率调节，可在真空环境下直接完成多层膜连续制备，标配晶体振荡式膜厚计，实时监测并控制薄膜厚度，部分教学机型简化功能布局，便于真空相关理论与实操教学；有机材料专用机型搭载独立有机蒸发单元，专门适配有机薄膜沉积工艺。ED 系列兼具电阻加热与电子束蒸发两大模式，可灵活切换使用，既能完成常规金属镀膜，也可实现高熔点介质、半导体材料的成膜作业。全系设备拥有全自动真空排气、泄压流程，镀膜全过程可预设程序自动执行，减少人为操作带来的误差。基板加热功能可按需开启，满足不同工艺对基底温度的要求，搭配对应的夹持结构，也可适配多种规格基板装夹。

产品优势

设备真空性能出色，成膜环境纯净，薄膜表面光洁、厚度均匀，成品品质优异。RD 系列机型丰富，针对性强，机身占地小，能耗合理，使用门槛低，非常适合实验室、院校及小型研发机构使用。ED 系列复合式蒸发设计，工艺兼容性广，一机多用，大幅降低设备采购成本，自动化程度高，可连续作业，适配中试及小批量生产场景。核心元器件均为原厂配套，整机故障率低，使用寿命长久。设备操作逻辑简单，新手经过简单培训即可上手，日常保养流程简易，综合使用成本低。两大系列覆盖不同定位，可根据工艺要求、产能规模灵活选型，适配性强。

应用场景

RD 系列广泛应用于各大院校、科研机构的真空技术教学、新材料实验研发，可用于钙钛矿电池电极、牙科专用镀膜、各类有机薄膜、常规贵金属薄膜的制备。ED 系列多用于光电元器件、光学镜片、半导体零部件、精密电子器件的镀膜加工，同时也可承接各类金属、氧化物复合薄膜的试制与量产，服务于光电、半导体、精密制造、新材料研发等多个行业。

使用与维护

开机前全面检查腔体密封、真空管路、蒸发源及电路系统，确认各部件状态正常。根据镀膜材料与工艺要求，选择对应工作模式，放置基板与镀膜原料，关闭炉门后启动预设程序。作业过程中留意真空度、温度、膜厚等参数变化，工序完成后严格按照降温、泄压、破除真空的规范流程操作，再取出成品。日常使用时定期清理腔体内残留的镀膜碎屑，检查密封件、线缆及蒸发源状态，及时更换老化配件。长期停机时保持腔体内部干燥洁净，定期进行空载抽真空试运行，防止部件受潮老化，保障设备随时可正常启用。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY

上一篇：D043日本sanvac 内热式真空加压钎焊炉
下一篇：Mini-BENCH 系列英国thermocera 超高温桌面实验炉

产品概述

结构与设计

日本sanvac 真空沉积设备精密蒸镀成膜装置

核心功能

产品优势

应用场景

使用与维护

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

产品概述

结构与设计

日本sanvac 真空沉积设备 精密蒸镀成膜装置

核心功能

产品优势

应用场景

使用与维护

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

日本sanvac 真空沉积设备精密蒸镀成膜装置