TK‑FUJIKIN IGS 半导体集成气体供气模组
TK‑FUJIKIN IGS 半导体集成气体供气模组面向半导体、FPD 面板超高纯特种气体输送。采用 316L 不锈钢电解研磨 EP 工艺,将减压阀、隔膜阀、过滤器、接头集成模块化供气盘。颗粒析出极低,氦检漏等级高,可根据工艺需求定制通路数量,支持 GAS BOX 成套交付。产品经过头部半导体工厂验证,适配腐蚀性、惰性特种工艺气体,简化现场管路施工,提升气路洁净度与系统安全性。
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更新日期
2026-09-10 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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2026-07-14





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