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2026-04-24
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION英国VacCoat 贵金属导电膜蒸镀碳膜两用仪器
泵组：两级直驱旋片机械泵，抽速 6m³/h
极限真空：＜40 mTorr
腔体：Pyrex 耐热玻璃圆筒，外径 170mm，高度 140mm
溅射电源：80W DC 直流切换电源，适配 2 英寸标准磁控阴极
碳纤维蒸发：0~25A 脉冲直流电源（标配）
碳棒蒸发：0~100A 大功率直流电源（选配）
靶材规格：标准 2 英寸；DSCR-300 可选 3/4 英寸大尺寸磁控靶
操作面板：7 英寸彩色触控液晶屏，多语言界面
存储容量：本机保存 300 组镀膜工艺曲线
数据输出：USB2.0，支持 Excel 工艺报表导出
自动部件：电子真空阀、电子遮光快门、阴极温控保护
外形尺寸：宽 500 × 深 370 × 高 450 mm
整机运输重量（含真空泵）：42 kg
供电：宽幅 AC110/220V，50/60Hz，整机功耗 1.7kW
英国VacCoat 贵金属导电膜蒸镀碳膜两用仪器
产品核心优势
溅射 + 镀碳二合一一体机，一台设备替代两台单独镀膜机，节省实验室台面与采购预算；
机械泵低真空系统，无涡轮分子泵高额维护成本，日常仅需更换真空泵油，运维简单；
脉冲式碳纤维蒸发，相比传统连续镀碳，碳碎屑更少，镀层细腻无颗粒，适配高分辨 FESEM；
全流程可编程自动化，可存储固定工艺，不同操作人员制样结果高度重复，实验数据稳定；
透明玻璃腔体，镀膜全程可视，可直观观察样品、靶材工作状态，故障易排查；
可选行星样品台，大批量 SEM 样品台一次装夹同步镀膜，大幅提升制样效率；
阴极智能温控保护，长时间连续溅射不会损伤磁控磁体，延长设备使用寿命；
USB 工艺数据导出，完整留存真空、电流、膜厚曲线，满足科研论文、第三方检测溯源要求。
高校材料学院：金属、陶瓷、高分子薄膜 SEM/FESEM 样品导电化前处理；
地质矿物检测实验室：岩石、矿石断面贵金属溅射，微观矿物形貌观测；
生物 / 医药实验室：软组织、粉末药物低温低损伤镀膜，避免样品受热变形；
半导体、锂电研发中心：晶圆、正负极极片断面制样，微观界面表征；
第三方微观表征检测机构：标准化镀膜工艺，出具可溯源电镜测试样品；
无机粉体、催化材料实验室：催化剂、纳米粉末均匀薄层沉积，消除成像荷电；
透射电镜 TEM 实验室：铜网碳支撑膜蒸镀、超薄碳膜制备；
橡塑、涂料研发车间：高分子涂层断面导电镀膜，观测微观涂层结构。
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