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光学器件

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描述：日本富士Fujifilm 光学镜片平面激光干涉仪
G102 是日本富士 FUJINON 自研的菲佐式平面激光干涉设备，专为各类高精度光学平板、镜片、基板平面形貌与透射波前检测打造，依靠稳定氦氖激光光路实现纳米级光学计量，整套设备兼顾小型试样与中大口径工件检测需求。机身内置一体化变焦光学镜头，无需更换主机即可适配微小零件与大尺寸基板。

产品型号：G102
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-30
访问量：70

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本富士Fujifilm 光学镜片平面激光干涉仪

核心功能特点

1. 内置 8.6 倍变焦光路，大小工件一台设备通用

集成可变倍率变焦镜头，微小微型光学零件、中大口径基板无需更换主机，切换试样仅调节变焦即可适配，省去多台干涉仪采购成本。

2. 双光束口径可选，覆盖全规格光学基板检测

可搭配两种标准有效光束口径，常规标准件与大尺寸板材分别匹配对应光路，适配镜头模仁、晶圆光学载板、陶瓷基准片多类工件。

3. 远程全功能遥控，无需拆机即可调节光路

配套独立有线遥控器，对焦、光源亮度、光路对准、变焦全部外部一键调节，批量检测无需反复开启设备上盖，减少光路重新校准频次。

4. 菲佐式稳定干涉光路，长期使用数值无漂移

原厂密封一体化 He-Ne 激光光源，光路结构经过恒温减震优化，长时间连续检测干涉条纹稳定，环境轻微温湿度波动不会影响计量结果。

5. 平面度、透射波前一体化同步检测

单次装夹即可同时完成工件表面平面度与透射光波前畸变分析，兼顾反射式、透射式两类光学质检需求，一套设备覆盖两类试验项目。

6. 非接触激光无损测量，抛光光学件无划伤风险

全程无探头物理接触工件表面，高价值抛光镜片、超薄光学基板检测无压痕、无磨损，避免检测造成工件报废损耗。

7. 紧凑型立式台式机身，小型光学实验室友好

整机一体式立式布局，宽度深度尺寸精简，普通标准实验台面即可安放，闲置无需大面积仓储空间，适配研发、质检共用小型化验室。

8. 原厂配套分析软件，干涉条纹数据完整归档

可对接专业光学分析软件，自动解析干涉条纹，完整留存平面形貌、波前畸变记录，检测报告具备光学计量溯源效力，用于产品审核与工艺复盘。

日本富士Fujifilm 光学镜片平面激光干涉仪

适用检测场景

光学镜头模仁、镜片出厂平面度批量全检
相机、车载镜头抛光镜片平面与透射波前筛查，管控镜片成像畸变，稳定光学组件装配品质。
玻璃、陶瓷、金属高精度基准平板定期溯源校准
实验室标准量板周期性比对校准，作为全厂光学设备基准，统一车间计量标准。
半导体光学载具、晶圆透光基板无损质检
芯片配套透光基板平面形貌检测，预判光刻光路畸变，提升芯片制程良率。
光学新材料研发试样对比试验
不同配方光学玻璃、镀膜板材波前性能比对，辅助优化镀膜、抛光加工工艺参数。
工业激光窗口、防护光学板材出厂质控
激光设备透光防护板透射波前检测，防止光路畸变影响激光加工精度。
第三方光学计量机构委托元件公证检测
出具合规可溯源平面、波前检测报告，用于光学产品贸易仲裁、资质申报审核。
高校光学工程专业镜头、基板实训教学设备
演示激光干涉计量原理，对比完好与缺陷光学件干涉条纹差异，配套光学课题试验。
车载、安防镜头生产车间离线抽检工位
产线定时取样离线检测，实时监控抛光、镀膜工序波动，及时调整加工设备参数。

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核心功能特点

1. 内置 8.6 倍变焦光路，大小工件一台设备通用

2. 双光束口径可选，覆盖全规格光学基板检测

3. 远程全功能遥控，无需拆机即可调节光路

4. 菲佐式稳定干涉光路，长期使用数值无漂移

5. 平面度、透射波前一体化同步检测

6. 非接触激光无损测量，抛光光学件无划伤风险

7. 紧凑型立式台式机身，小型光学实验室友好

8. 原厂配套分析软件，干涉条纹数据完整归档

适用检测场景

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