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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本富士胶片fujifilm 微孔介质过滤仪器
型号:AstroPore
设备类型:微型过滤器
品牌:富士フイルム FUJIFILM(日本富士胶片)
作业对象:工艺气体、工艺液体内部微小颗粒杂质过滤拦截
工作方式:微孔滤材物理拦截过滤
输出形式:流体杂质过滤净化,可搭配压差监测反馈工况信号
安装形式:管路接头锁紧,接入工艺流体管路
工作环境:工艺管路内部,规避超压冲击
可选配置:不同孔径滤芯、前置配件、压差监测组件另行选配
标配配件:过滤器本体、操作手册;滤芯另行选配
高精度微孔滤材,有效截留流体当中微小颗粒杂质
整体体积小巧,适合嵌入设备内部狭小管路空间
壳体适配半导体制程工况,耐多种工艺介质腐蚀
安装方式简单,可直接串联接入现有工艺管路
可适配气体、液体多种介质过滤场景
适合产线长时间连续运行,稳定保障后端设备安全
可搭配压差组件判断滤芯堵塞状态,便于维护管理
滤芯耗材可单独更换,降低整机更换带来的运维投入
半导体行业,工艺气体、化学药液管路杂质过滤净化
薄膜工艺设备,前驱体介质过滤,阻挡颗粒进入制程腔体
精密分析设备,试剂、载气前置过滤处理
自动化制程设备,管路流体净化,减少颗粒引发设备故障
实验室设备配套,流体介质精密过滤,保障试验稳定性
原有过滤器滤芯老化堵塞,现场备件替换升级
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