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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本onosokki 微米光斑非接触测振设备
型号:LV‑0381
最小激光光斑:φ2.5μm(50 倍物镜)
适配物镜:5×、10×、20×、50 倍长工作距离显微物镜
频率范围:0.3Hz‑3MHz,选配拓展可达 20MHz
观测系统:双路不同倍率 CMOS 相机,USB2.0 图像输出
照明方式:内置同轴落射 LED 光源,亮度连续可调
调焦机构:粗调 + 微调双层旋钮,升降行程 30mm,带有防跌落锁止
激光等级:Class3R 安全等级
配套主机:适配 LV‑1800 激光多普勒测振仪主机
底座:厚重减震平台底座,降低外界振动干扰
标配配件:LV‑0381 显微测量单元、成套物镜组、相机线缆、照明电源、操作说明书
选配配件:高频拓展模块、专用样品载台、溯源校准证书
共焦点光学一体化设计,激光测点与显微成像光路同轴,相机画面里看到的点位就是激光照射位置,避免普通测振设备光斑看不见、测点找不准的问题,微米级微小测点快速定位。
双倍率相机观测,一套单元同时提供大视场全局观察和高倍率局部观察,先快速找到器件整体位置,再切换高倍锁定目标微区,不用反复拆装镜头,提升样品调试效率。
长工作距离物镜配置,物镜距离样品留有充足空间,样品引线、夹具、探针不会碰撞镜头,带封装的元器件也可以直接开展测试,不用拆解样品外壳。
微米级极小光斑输出,光斑压缩至 2.5 微米,能够对准 MEMS 悬臂、压电陶瓷微区、芯片局部电极这类尺寸极小位置,普通测振大光斑无法实现的微点测试可以完成。
底座自带减震平台,抑制桌面环境振动对显微光路带来的干扰,微弱振动信号也可以稳定采集,不用额外搭建大型减震台。
同轴 LED 落射照明,亮度连续可调,针对哑光、反光、深色不同材质样品,都可以获得清晰成像,方便识别微小器件结构。
模块化单元属性,不需要整机整套采购,已有 LV‑1800 测振主机即可直接加装本单元,升级显微微区测试能力,降低设备投入。
机械升降带有防跌落锁止机构,调焦操作时不会出现滑台下坠,保护物镜与样品,适合科研人员长时间反复更换试样测试。
MEMS 器件研发,微悬臂、微结构单点振动特性评价。
压电元件、陶瓷元器件,微区振动响应测试。
半导体芯片、微型电子器件,失效分析阶段微区振动检测。
声学、超声微型器件,高频振动特性实验验证。
高校科研院所,微小构件动力学相关课题实验。
材料研发企业,新型压电、MEMS 试样工艺条件验证。
第三方实验室,微型器件振动性能委托测试。
需要非接触方式,对微米尺寸微小点位开展单点振动测量的研发项目。
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