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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本爱发科ulvac 电阻加热式真空镀膜设备
型号：VPC‑061
蒸镀方式：电阻加热蒸发
极限真空：1.3×10⁻³ 帕；加装液氮冷阱可达 6.6×10⁻⁴帕
抽气性能：二十分钟可抽到 4.0×10⁻³ 帕；液氮冷阱工况二十分钟抽到 1.3×10⁻³ 帕
真空腔体：玻璃钟罩，内径一百五十毫米，高度二百毫米
推荐基板尺寸：最大五十毫米见方试样
基板电极间距：最大一百毫米
蒸发电源：最大输出十五百安培
主泵：风冷油扩散泵，每秒五十升；辅泵：油旋片泵每分钟二十升
控制形式：手动操作控制
整机外形：宽 434× 深 422× 高 673 毫米
主机重量：二十八千克；蒸发电源单元四十千克
供电规格：主机单相一百伏特，蒸发电源单相二百伏特
标配配件：VPC‑061 主机、蒸发电源组件、电极配件、操作说明书
选配配件：油雾捕捉器、皮拉尼真空计、电离真空计、专用试样夹具、液氮冷阱耗材
整机一体化集成，真空泵组、阀组、管路、电气系统整合于机架，到货简单对接即可开展实验，无需自行搭建真空系统，节省前期调试时间。
可视玻璃钟罩腔体，蒸镀全程可以直观观察内部蒸发、成膜状态，方便实验人员观察工艺现象，便于异常情况及时判断处理。
无需关停主泵即可开腔，更换样品的时候主泵可以保持运行，减少反复启停泵组带来的等待时长，提升试样交替处理效率。
支持多层薄膜蒸镀，可配置多组蒸发电极，实现同步蒸镀或者分层交替蒸镀，满足复合薄膜、多层膜工艺实验需求。
液氮冷阱可选配置，接入液氮冷阱，有效吸附腔体内部水汽、残余油气，获得更高真空环境，降低薄膜杂质含量。
脚轮移动设计，设备底部配置脚轮，整机可以轻松移位，可在不同实验工位之间流转使用，提升设备利用率。
适配小尺寸试样，面向科研小样开发，适合各类薄片、芯片试样、电镜基底的镀膜制备，满足实验室研发打样。
拓展配件丰富，可按需选配各类真空计、油雾过滤器、定制样品工装，根据实验需求扩充设备能力。
高校科研实验室，金属、介质薄膜相关课题蒸镀实验。
材料研发机构，各类新材料试样表面镀膜制样。
电镜样品前处理，试样表面导电薄膜蒸镀制备。
光学工艺研发，简易光学薄膜试样试制比对。
理化实验室，多层薄膜工艺条件摸索验证。
教学实验平台，真空蒸镀相关演示与学生实验。
企业研发部门，小批量试样镀膜工艺开发。
需要在高真空环境下，采用电阻加热方式对小基板试样做薄膜蒸镀制备的各类实验项目。
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