描述：RION 理音 MR-S1 浆料在线颗粒监测装置，半导体 CMP 产线 POU 浆料在线颗粒监测设备。采用光遮挡法，浆料无需稀释，直接在线监测粗大颗粒，检测≥3μm、≥5μm 颗粒数量。接液部件 PFA 与合成石英，耐抛光浆料腐蚀。串接在产线管路实时采集数据，自带报警功能，一旦大颗粒突增及时预警，提前识别滤芯破损、浆料团聚，降低晶圆划痕报废风险。

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厂商性质：代理商
更新时间：2026-09-15
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

RION 理音 MR-S1 浆料在线颗粒监测装置RION 理音 MR-S1 浆料在线颗粒监测装置

产品细节图

MR-S1 主机为台式控制单元，带触控显示屏；KS-71 为管路式传感器，小巧可直接串联工艺管道。传感器本体圆柱形，流体直通结构，减少颗粒沉积。主机与传感器使用信号线缆连接；传感器接液窗口为合成石英，管路接口 PFA 材质。主机可多台组网，集中查看多个 CMP 机台浆料颗粒数据。

产品性能

采用光遮挡法原理，待测浆料直接流过传感器检测腔，不需要稀释样品，避免稀释过程造成颗粒形态改变。可统计≥3μm、≥5μm 两个粒径档颗粒数量，实时输出颗粒计数趋势。监测流量 60mL/min，最高承压 300kPa，介质温度 15~35℃。传感器接液材质抗酸碱抛光浆料腐蚀，可长期在线连续运行。主机实时存储监测数据，超标自动触发报警信号，可对接产线控制系统。快速捕捉浆料团聚、滤芯破损等异常，提前预警晶圆划痕风险，弥补实验室离线取样滞后问题。

用材

传感器接液部分 PFA；检测窗口合成石英；主机外壳防静电铝合金；密封件氟橡胶。

参数表

表格

项目	参数
型号	MR-S1（主机）+ KS-71 传感器
原理	光遮挡法
检测粒径	≥3μm、≥5μm
样品流量	60mL/min
工作压力	≤300kPa
介质温度	15~35℃

型号

MR-S1；配套传感器 KS-71。

用途

半导体 CMP 产线机台 POU 端浆料在线粗大颗粒监控；实时监测浆料大颗粒数量；预警滤芯破损、浆料团聚；降低晶圆抛光划伤不良；半导体湿制程流体颗粒监测。

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