描述：日本YOKOHAMA 横滨理化脱气消泡罐日本横滨理化 MF 系列脱气消泡模组，采用氟系中空纤维膜，接液部位全 PFA 材质，耐强酸强碱与有机溶剂。串联在药液管路，负压物理脱除液体中微气泡与溶解氧，无需添加化学助剂。MF500 适合中小流量，MF1000 支持大流量，用于半导体、FPD 光刻胶、显影液、清洗液管路除泡，减少涂布、蚀刻工艺缺陷。

产品型号：MF500 PFA
厂商性质：代理商
更新时间：2026-09-17
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本YOKOHAMA 横滨理化脱气消泡罐日本YOKOHAMA 横滨理化脱气消泡罐

产品细节图

整机实拍：MF500、MF1000 圆柱形罐体，PFA 接头；细节特写：管路接口、罐体铭牌；配件图：连接接头、密封垫圈；场景图：半导体产线管路安装实拍。

产品性能

中空纤维氟膜，只透气不透液，外接真空泵形成负压，将药液内微气泡、溶解氧、二氧化碳等气体抽出，纯物理脱气，不改变药液成分。接触药液全部为高纯 PFA 氟树脂，无金属析出，耐各类强腐蚀光刻化学品。MF500 适用流量 80~300mL/min；MF1000 支持更高流量。可持续在线运行，降低管路气泡造成流量波动，减少涂布、蚀刻的工艺不良。

用材

接液材质：高纯 PFA 氟树脂；外壳不锈钢保护壳体；内部中空纤维氟膜；接头 PFA。

参数表

表格

项目	MF500 / MF1000
型号	MF500（消泡罐）/MF1000（脱气模组）
接液材质	PFA
脱气原理	氟中空纤维膜负压脱气
MF500 推荐流量	80~300mL/min
MF1000 推荐流量	最高 1000mL/min
适用流体	光刻胶、显影液、各类高纯溶剂

用途

半导体、FPD 面板制造；光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液管路在线脱泡除气；消除微气泡，稳定流体计量，降低制程缺陷。

包装、使用说明

纸箱 + 泡沫防护，罐体、PFA 接头、密封圈、说明书、材质证明。使用：串联在药液管路，外接真空泵；控制负压范围；避免超过额定流量；定期检查膜组件，防止堵塞。

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