描述：日本EcoDesignLabo在线无汞台式臭氧浓度计本款台式在线臭氧浓度计采用 UV-LED 紫外吸收法，无汞环保设计，可接入工艺管路实现连续在线监测。设备体积小巧，开机无需长时间预热，即可快速开始测量，支持多量程选型，可选压力补偿功能。自带数字显示与外部信号输入输出接口，可联动工艺做浓度控制。内部无金属析出结构，适配半导体清洗、臭氧工艺产线，稳定持续监测臭氧气体浓度，便于生产工艺管控。

产品型号：O3M-S-G
厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-13
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本EcoDesignLabo在线无汞台式臭氧浓度计日本EcoDesignLabo在线无汞台式臭氧浓度计

本款台式在线臭氧浓度计采用 UV-LED 紫外吸收法，无汞环保设计，可接入工艺管路实现连续在线监测。设备体积小巧，开机无需长时间预热，即可快速开始测量，支持多量程选型，可选压力补偿功能。自带数字显示与外部信号输入输出接口，可联动工艺做浓度控制。内部无金属析出结构，适配半导体清洗、臭氧工艺产线，稳定持续监测臭氧气体浓度，便于生产工艺管控。

核心参数表

表格

项目	参数
型号	O3M-S-G 系列
测量原理	UV-LED 紫外吸光光度法，无汞光源
测量量程	可选 50/80/150/300g/m³(N)
外形尺寸	W141×D180×H110mm（不含突出接头）
供电	AC100~220V，50/60Hz
功耗	3W（未外接电磁阀）
管路接头	适配外径 6mm、1/4 英寸管路
压力补偿	可选，补偿范围 - 30kPa~300kPa (G)
输出功能	外部 IO 信号、浓度控制功能
材质	无金属析出（metal-free）气路

产品详情

产品细节图整机为小型台式箱体结构，正面搭载数字显示屏、电源开关与调零旋钮，操作界面简洁直观。设备背部设置样气入口 SAM.IN、样气出口 SAM.OUT，电源接口以及信号端子，方便接入工艺管路与控制系统。整机底部配有防滑支撑脚垫，可直接放置操作台；管路接头标准化，现场管路拆装便捷。配套管路接头、说明书、出厂校验证书，可直接接入产线做在线连续监测。

产品性能仪器采用 UV-LED 光源，摒弃传统汞灯，无汞更环保，光源启动速度快，开机无需等待长时间预热，迅速进入测量状态。紫外吸收法检测，检测稳定性好，漂移小，适合长期不间断在线监测。气路采用无金属析出设计，不会向气体中释放金属杂质，满足洁净工艺要求。设备内置浓度控制逻辑，搭配外部输入输出，可联动臭氧发生器调节浓度。可选压力补偿模块，消除气压波动带来的测量偏差，保证工艺压力变化时读数准确。支持连续通入样气，适合 24 小时不间断在线监测。

用材主机外壳为金属壳体，表面喷涂防腐涂层；光学腔体为特种耐臭氧材质；气路管路接头选用耐臭氧腐蚀材质，无金属析出；光学窗口透光性稳定，耐臭氧老化。内部 UV-LED 光源寿命长，维护周期优于传统汞灯机型。

用途1. 半导体行业：晶圆臭氧清洗工艺在线监测；2. 臭氧发生设备、氧化工艺产线，连续监测臭氧气体浓度；3. 水处理、食品灭菌臭氧工艺监控；4. 实验室臭氧反应试验、科研设备在线浓度采集；5. 化工氧化工艺，闭环控制臭氧投加量。

包装主机独立防护包装，采用加厚纸箱搭配缓冲泡沫保护光学组件，管路接头、配件单独分装。箱内包含产品说明书、出厂校准报告、配件清单，防止运输震动损伤光学元件。

使用说明将仪器放置平稳台面，连接进气、出气管路，确认管路无漏气。接通电源，开机，仪器无需长时间预热，使用调零旋钮完成零点校准。通入待测样气，屏幕实时显示臭氧浓度数值。可接入信号端子，将浓度信号传输至 PLC，实现工艺自动控制。如果选配压力补偿功能，同步接入压力采样管路。停机前，通入洁净空气吹扫气路，减少臭氧残留腐蚀内部组件。定期零点校验，保持测量精度；避免超量程长期运行。

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