描述：Tokyouvac光半导体全自动真空高温炉热处理日本 Tokyouvac 全自动真空高温炉，支持真空环境高温热处理，温控稳定，自动化运行，适配光半导体、核聚变相关材料烧结、退火工艺，可降低热处理过程氧化污染。

产品型号：TV1300R/TV-1500R
厂商性质：代理商
更新时间：2026-11-02
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

Tokyouvac光半导体全自动真空高温炉热处理Tokyouvac光半导体全自动真空高温炉热处理

日本 Tokyouvac 全自动真空高温炉，支持真空环境高温热处理，温控稳定，自动化运行，适配光半导体、核聚变相关材料烧结、退火工艺，可降低热处理过程氧化污染。

产品细节图包含炉体腔体、真空机组、温控操作台、充气接口、观察窗、循环水冷接口。产品性能可实现抽真空、升温、保温、冷却全自动流程，真空度可控，升温速率可调，温度均匀性良好，内置保护逻辑，超温、断水、真空异常自动报警。用材炉腔选用耐高温合金，保温层低挥发，密封件适配高温真空工况，水冷结构保障炉体外表面温度可控。型号 TV1300R、TV-1500R，用途光半导体材料退火、核聚变相关材料烧结、特种陶瓷、金属材料真空热处理。配套参数表包含最高温度、有效温区、极限真空、升温速率、控温精度、冷却方式。产品采用定制木箱包装，炉体、真空泵、控制柜分箱防护。使用前检查水冷、真空管路，放入样品，调用工艺程序，结束后按规范冷却再开炉，定期维护密封件、真空泵油。售后提供安装调试、工艺培训、年度保养、腔体维修。

参数项目	参数参考值
最高温度	1300℃ /1500℃
控温精度	±2℃
极限真空	5×10⁻⁴Pa
升温速率	1～10℃/min
加热区	单区
冷却方式	水冷

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描述：Tokyouvac光半导体全自动真空高温炉热处理日本 Tokyouvac 全自动真空高温炉，支持真空环境高温热处理，温控稳定，自动化运行，适配光半导体、核聚变相关材料烧结、退火工艺，可降低热处理过程氧化污染。

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