描述：日本 musashino 武藏野 MA-150 精密研磨机该设备用于半导体硅片、化合物晶圆截面抛光，也用于 IC 失效分析样品制备，研磨进给精细可控，样品表面平整度好，适合芯片截面观察、失效分析前制样工序。
产品细节图展示研磨盘、样品夹持工装、进给调节单元、控制面板、废液收集槽。产品性能进给控制精细，可实现微量磨削，减少样品崩边；研磨盘转速稳定，搭配不同粒度研磨耗材逐级抛光；夹持工装定位稳定，样品

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更新时间：2026-11-03
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 musashino 武藏野 MA-150 精密研磨机日本 musashino 武藏野 MA-150 精密研磨机

该设备用于半导体硅片、化合物晶圆截面抛光，也用于 IC 失效分析样品制备，研磨进给精细可控，样品表面平整度好，适合芯片截面观察、失效分析前制样工序。产品细节图展示研磨盘、样品夹持工装、进给调节单元、控制面板、废液收集槽。产品性能进给控制精细，可实现微量磨削，减少样品崩边；研磨盘转速稳定，搭配不同粒度研磨耗材逐级抛光；夹持工装定位稳定，样品截面平行度可控；废液收集结构，便于收集研磨碎屑，保持台面整洁。用材研磨盘高硬度合金基材，工装耐腐蚀，腔体做防锈处理。型号 MA-150。用途硅片、化合物晶圆截面研磨，半导体 IC 失效分析、芯片样品制样。

参数项目	参数参考
适用样品	硅片、化合物晶圆、芯片样品
功能	截面研磨、精细抛光
进给	微量精细进给控制
配套	可更换研磨耗材

包装加厚木箱，研磨盘、工装分开缓冲防护，避免磕碰损伤工作面。使用说明：装夹样品后设定进给速度与研磨量，逐级更换研磨片；作业后冲洗研磨腔体，清理碎屑；定期检查研磨盘平面度。售后服务：我司提供制样工艺指导，研磨耗材、工装配件供应，设备检修。

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