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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国FEMTOSCIENCE小型台式真空等离子清洗机
产品介绍
本设备为CUTE 系列台式真空等离子体处理系统,是专为科研实验室、微电子精密制程打造的小型一体化等离子设备。整机采用桌面式集成化设计,搭载成熟 PE 等离子发生工艺,从真空腔体、射频电源、气体流量控制到智能操作系统全部集成一体化,兼顾精密处理性能与便捷使用体验,广泛应用于材料表面活化、精密清洗、表面刻蚀、界面改性等科研实验与小型精密制程场景。
韩国FEMTOSCIENCE小型台式真空等离子清洗机产品核心特性
小型台式集成机身,空间适配性强
整机外形紧凑,桌面式占地面积小,无需额外基建空间,可直接放置于实验室操作台;腔体尺寸适配各类中小型样品,开箱操作便捷,样品取放灵活。
高稳定宽域真空系统
压强覆盖常压至高真空区间,密闭腔体环境洁净稳定,等离子体场内分布均匀,有效避免样品处理不均、局部效果差异问题,保障精密处理一致性。
高精度气电控制系统
搭载宽频可调射频发生器,功率输出稳定可调;配套高精度 MFC 质量流量控制器,气体流量精准可控,可灵活适配多种工艺气体,自定义优化处理参数。
人机友好双模式操作
搭载高清触控显示屏,流程可视化界面,同时支持手动参数调试、全自动程序运行两种模式;自带急停安全防护系统,操作安全可控,新手调试与量产程序运行均可适配。
多场景全能工艺适配
成熟 PE 等离子工艺,可实现精密零部件等离子清洗、材料表面亲水化活化、微纳刻蚀、界面粘接改性等功能,适配半导体、微电子、高分子材料、生物医药、高校科研等多领域实验与生产需求。
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