描述：韩国台式真空清洗机实验室级等离子处理系统
本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 COVANCE-RF 系列台式真空等离子清洗机，是专为实验室科研与工业精密制造研发的等离子表面处理系统。

韩国台式真空清洗机实验室级等离子处理系统

产品介绍

本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 COVANCE-RF 系列台式真空等离子清洗机，是专为实验室科研与工业精密制造研发的等离子表面处理系统。

设备采用PE / RIE / Dual 三模式等离子处理架构，可在高真空环境下激发均匀稳定的等离子体，实现从基础表面清洗、亲水化活化，到 RIE 反应离子刻蚀的全流程工艺覆盖。全密封不锈钢真空腔体尺寸为 W200×D220×H160mm，腔体洁净度高，无残留污染，适配芯片、微小元器件等易损精密工件；搭载智能触控编程控制系统，支持全流程参数可编程调控，工艺配方可存储调用，调试便捷高效。

整机可实现精密有机污染物去除、材料表面亲水化活化、界面附着力提升、微纳刻蚀、高分子材料表面改性等多重功能；腔体自带可视化观察窗口，运行状态实时可见，搭配多重安全联锁防护设计，机身运行稳定可靠。广泛应用于半导体封装、微电子元器件、PCB 线路板、3C 精密电子、医疗器械耗材、高分子材料改性、高校科研院校实验室等场景，解决精密工件表面清洗、材料粘胶差、结合力不足、表面活性低、微细结构刻蚀等行业痛点。

韩国台式真空清洗机实验室级等离子处理系统产品核心特性

韩国原厂多模式等离子技术

源自韩国 FEMTOSCIENCE 专业等离子设备品牌，支持 PE/ RIE/ Dual 三种工作模式，等离子密度分布均匀，处理效果一致性高，是科研与工业领域高可靠性设备。

紧凑型高洁净真空腔体

全密封不锈钢真空腔体搭配高真空规，处理环境洁净度高，无残留污染，腔体尺寸紧凑，适配实验室桌面级摆放，同时满足小件批量处理需求。

智能触屏一体化操作系统

搭载高清工业触控触摸屏，全流程参数可视化调节，支持工艺程序自定义编辑、配方存储一键调用，参数调试直观便捷，无需复杂专业操作，新手即可快速熟练工艺调试。

一机多用全维度表面处理

单台设备可同时实现精密去污清洗、表面亲水化活化、界面附着力增强、微纳刻蚀、材料表面改性等多重功能，替代多台单一设备，大幅节省车间设备投入与空间占用。

实验室级安全耐用整机架构

全封闭防护钣金机身，配套过压、过热、腔体异常多重安全联锁保护，设备运行稳定性强；既可用于实验室小批量精密研发处理，也可对接工厂产线批量量产连续作业。