描述：Bronkhorst可控蒸发混合输送系统
Bronkhorst CEM-System 是专为半导体与先进材料工艺打造的化学蒸发物料输送系统，主要服务于 CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）等薄膜制备场景，为低挥发性液体前驱体提供稳定、可控的汽化与气相输送解决方案。

Name: Bronkhorst可控蒸发混合输送系统CEM-System
Brand: 其他品牌
Price: 500 CNY
Availability: InStock

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

Bronkhorst可控蒸发混合输送系统

产品型号

完整系列：CEM-System（CEM Vapor Delivery System）

品牌：Bronkhorst（布琅轲锶特）

Bronkhorst可控蒸发混合输送系统核心卖点

高精度化学蒸发控制

专为液体前驱体设计，实现稳定、可控的汽化与气相输送，保障半导体工艺重复性。

一体化系统设计

集成汽化、计量、控制功能，简化设备集成流程，降低系统复杂度。

精准流量与温度控制

可实现气相流量与汽化温度的闭环控制，适配 CVD/ALD 等半导体薄膜沉积工艺。

低挥发性液体适配

支持各类低挥发性、腐蚀性液体前驱体的稳定汽化与输送，应用场景广泛。

高工艺兼容性

可与多种半导体工艺设备无缝对接，满足实验室研发与量产线的工艺需求。

产品介绍

Bronkhorst CEM-System 是专为半导体与先进材料工艺打造的化学蒸发物料输送系统，主要服务于 CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）等薄膜制备场景，为低挥发性液体前驱体提供稳定、可控的汽化与气相输送解决方案。

该系统采用一体化设计，集成了汽化模块、流量计量模块与控制模块，可实现对前驱体温度、气相流量的精准闭环控制，确保工艺过程的稳定性与重复性。系统支持多种低挥发性、腐蚀性液体前驱体的处理，可直接对接各类工艺设备，是半导体制造、材料科学研发中气相前驱体输送的理想解决方案。

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