描述：日本Shinkuu 桌面小型磁控溅射仪
MSP-mini 是日本真空设备厂商 Shinkuu 推出的超小型经济型磁控溅射装置，主打实验室少量样品快速导电镀膜，专为台式扫描电镜、光学显微镜样品预处理设计。整机高度集成，搭配微型旋片真空泵，一键全自动完成抽真空、溅射镀膜、放气全流程；标配 φ30mm 小金靶材，耗材消耗量极低，运行成本远低于大型溅射设备。

核心工作原理

整机硬件结构

1. 主机控制箱体

   浅灰台式钣金机身，尺寸紧凑仅 180×270×183mm，整机重 4.2kg；前面板配置镀膜时间调节旋钮、START 启动按键、电源指示灯；顶部透明硬质玻璃真空腔体，内置样品承载台与磁控靶座，可快速开盖取放样品。

2. 配套微型旋片真空泵（G-5DA）

   排气速率 5L/min，通过真空软管与主机腔体连接，快速完成腔室抽真空；体积小巧，噪音低，配套专用真空润滑油，长期稳定运行。

3. 磁控溅射靶模组

   标准配置 φ30mm 金靶（Au），可选银靶（Ag）；磁控磁场优化，靶材利用率高，细小样品镀膜均匀无阴阳面；靶材拆装简易，更换耗材无需专业工具。

4. 真空玻璃样品腔

   内径 86mm 透明腔体，可视全程镀膜过程；样品台有效承载直径 φ30mm，可放置块状、粉末、薄膜、生物切片各类小型试样，最大样品高度 20mm。

5. 全自动时序控制电路

   内置自动程序，一键启动后自动抽真空→等离子起辉溅射→计时结束→自动放气开盖，新手无需培训即可操作。

日本Shinkuu 桌面小型磁控溅射仪

八大核心功能优势

1. 一键全自动镀膜，操作零门槛

   单键启动整套流程，自动完成抽真空、溅射、泄压，省去多步骤手动调节，批量制样效率高。

2. 小型靶材低耗材，使用成本低廉

   标配 φ30mm 小金靶，单次镀膜消耗贵金属极少，对比大口径溅射靶大幅降低长期实验耗材支出。

3. 超小型桌面机身，空间适配性强

   整机体积迷你，重量仅 4.2kg，通风橱、实验台、手套箱狭小空间均可摆放，无需专用设备机房。

4. 双靶材可选，适配两种观测场景

   标准金靶：台式 SEM 低倍、高倍微观形貌观察；选配银靶：透明样品光学显微镜观测，薄膜透光性好。

5. 磁控溅射成膜均匀，成像效果稳定

   磁场约束等离子体，样品表面导电膜厚度均匀，无局部过厚、漏镀，杜绝 SEM 图像充电、模糊、光斑问题。

6. 一体化成套出货，开箱即用

   出厂配套真空泵、真空软管、标准金靶、真空油，无需额外采购配件，连接电源即可开展实验。

7. 低噪音低功耗，实验室友好

   微型真空泵运行噪音低，整机 AC100V 低功率供电，长时间连续制样无过热故障。

8. 透明可视腔体，过程直观可控

   全玻璃真空腔，可实时观察等离子溅射状态，方便调整样品摆放、把控镀膜效果。

适用样品与行业场景

可处理试样

适用行业场景

1. 高校材料、生物、地质实验室：SEM 扫描电镜样品导电前处理；

2. 第三方检测机构：微观形貌、断口、粉末形貌检测制样；

3. 新材料研发企业：高分子、陶瓷、复合材料微观表征；

4. 光学实验室：透明基底超薄银光学薄膜制备；

5. 地质矿物实验室：岩石、粉末矿物导电镀膜观测。