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日本ADVANCE RIKO 空冷台式红外快速退火炉

描述:日本ADVANCE RIKO 空冷台式红外快速退火炉
ADVANCE RIKO MILA-700AR 是一款无需外接冷却水的桌面型红外灯快速退火设备,采用自带风机整机风冷设计,仅接入普通市电即可开机运行,省去水冷循环配套设备。设备搭载 4 支镀金红外卤素灯实现极速升温,支持大气、真空、氮气 / 氩气惰性气氛多种热处理环境;内置可编程 PID 温控系统,可编辑多段升降温工艺。

  • 产品型号:MILA-700AR
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-06-18
  • 访问量:5
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本ADVANCE RIKO 空冷台式红外快速退火炉

无水风冷结构,实验室部署零门槛

区别传统水冷退火炉,MILA-700AR 机身集成大功率散热风扇,整机全程风冷散热,无需水循环机、水管铺设,仅 AC100V 市电插座即可启动,小型研发实验室、高校实验室均可轻松部署,设备搬迁、工位调整无需改造水路,大幅降低前期配套成本与空间占用。整机重量仅 21kg,桌面直接放置,无需专用设备平台。

红外卤素灯极速升温,温场均匀稳定

内部配置 4 支 100V 375W 镀金红外反射灯,全功率升温平均速率可达 25℃/s,短时间内将样品升至 700℃(短时峰值最高 800℃);700℃恒温区间内样品区域温差≤10℃,薄片试样受热均匀,避免局部过热造成薄膜开裂、材料晶相不均问题。搭配 K 型热电偶直接贴近样品测温,实时反馈真实试样温度,温控无滞后偏移。

日本ADVANCE RIKO 空冷台式红外快速退火炉

多气氛处理,适配各类材料热处理需求

腔体采用 O 型圈密封石英管结构,支持四类热处理环境自由切换:
  1. 大气氛围:常规氧化、烘干、薄膜耐热测试;

  2. 惰性气体(N₂/Ar):隔绝氧气,金属、热电材料退火;

  3. 可控气流气氛:持续通入保护气,还原、烧结实验;

  4. 真空环境:搭配外置真空泵实现低真空退火,适配半导体晶圆、易氧化样品。

    机身标配数字气体流量计,精准调控保护气通入流量,气路采用标准 1/4 英寸世伟洛克快插接头,拆装管路便捷。

可编程智能温控,支持电脑上位机联动

正面集成双显示数字温控面板,同时显示设定温度与实时样品温度,面板按键可直接编辑多段升降温、恒温、降温工艺曲线;设备自带 USB2.0 通讯接口,连接电脑可批量编辑存储数十套热处理程序,实验全程温度数据自动保存为文档格式,便于实验报告整理、工艺复现对比。升温 / 恒温 / 降温斜率均可独立设置,满足热循环、阶梯退火等复杂实验需求。

全面安全联锁防护,长时间实验无忧

内置多重故障自动保护机制:热电偶断线保护、超温切断加热、风机停转停机、腔体开盖加热终止;炉体高温区域贴隔热防护层,外壳表面温升低,避免实验人员烫伤;加热灯故障自动报警提示,降低样品报废风险,支持无人值守长时间恒温热处理实验。

主流适配应用场景

  1. 半导体行业:硅片、化合物晶圆快速退火、基板光 CVD 预热;

  2. 薄膜涂层领域:光学膜、金属镀层耐高温老化、耐热性能评估;

  3. 新材料研发:热电材料、陶瓷、磁性材料、催化剂烧结;

  4. 金属工艺:小型金属片退火、氢气还原去除氧化层;

  5. 高分子实验室:树脂、有机薄膜低温烘干、热稳定性测试;

  6. 可靠性测试:零部件冷热循环、高温老化耐久实验。


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