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2026-06-24
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本Orange Science 台式真空等离子清洗机
放电频率：40KHz 低温射频，三段功率可调
腔体容积：5L 石英真空腔体，最大容纳 4 英寸硅片 / 多片 PDMS 模板
工作真空度：5–15Pa 闭环自动维持
工艺气源：标配 O₂、Ar 两路进气，可扩展 N₂第三路
定时范围：1–999s 数字定时
工作温度：腔体样品≤60℃低温处理
控制模式：PLC 数字程序控制，存储 10 组自定义工艺
真空系统：内置静音干式真空泵，无油污染适配半导体洁净需求
腔体结构：全透明石英可视窗口，圆形均匀放电电极
整机尺寸：420 (W)×480 (D)×360 (H) mm，台式桌面放置
供电：AC100–240V 通用单相电源
运行环境：洁净实验室，无大量粉尘、强腐蚀气体空间
日本Orange Science 台式真空等离子清洗机
40KHz 低温放电，PDMS 薄片、半导体薄膜全程低温处理，无翘曲、无氧化损伤；
一体化内置真空泵，无需外接大型真空机组，实验室台面直接摆放，节省空间；
透明可视石英腔体，实时观察等离子状态，快速判断 PDMS 表面活化进度；
预存成熟 PDMS 键合工艺，氧气等离子一键完成亲水改性，键合强度稳定不可逆；
多路气源自由切换，氩气物理溅射除颗粒、氧气化学清洗有机污染物，一套设备覆盖两类工艺；
圆形均匀放电电极，多片 PDMS、整片硅片批量处理，表面亲水 / 清洗效果无区域差异；
可编程存储多组工艺，不同厚度 PDMS、不同材质半导体无需反复调试参数；
无油干式真空系统，不会产生油污污染晶圆、PDMS 芯片，满足半导体洁净实验标准。
微流控芯片研发实验室：PDMS 清洗、亲水化、PDMS - 玻璃长久键合，微通道生物芯片制备；
半导体材料研发中心：单晶硅片、氧化硅基底光刻胶残渣、有机污染物低温清洗；
显示器件实验室：ITO/FTO 导电玻璃等离子活化，提升光学薄膜附着力；
生物医学工程实验室：PDMS 微流控芯片无菌处理，优化细胞培养基底润湿性；
高校微纳加工教学实验室：软光刻、微刻蚀全套等离子前处理教学与试样制备；
高分子材料研发室：PTFE、PI 惰性塑料表面活化，解决粘接、印刷脱层问题；
半导体封装研发：芯片、基板封装前微颗粒、有机杂质精密无损清洗；
微流控小型试制车间：小批量 PDMS 芯片标准化等离子预处理，稳定芯片良率。
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