描述：日本diavac 一体化热阴极电离真空计
本设备为日本 diavac 大亚真空 TRI-10 系列 TRI-10-N25Y 一体式热阴极电离真空计，整合金属传感单元、控制运算电路与数字显示面板，无需分体搭配控制器，节省设备安装空间，主要用于半导体、光学镀膜、表面分析仪器超高真空腔体压力实时监测，稳定捕捉腔体内部真空状态，支撑镀膜、溅射、材料分析工艺稳定运行。

日本diavac 一体化热阴极电离真空计

基础核心参数

1. 测量原理：热阴极离子规检测方式，热阴极发射电子电离腔体残余气体，离子收集电流与真空压力形成线性对应关系，以此换算腔体真空度数值，自动切换发射电流保障全区间测量稳定

2. 完整型号：TRI-10-N25Y，法兰规格 NW25；同系列衍生型号 TRI-10-C70Y 为 ICF70 法兰版本

3. 测量量程：1.33×10⁻⁷ ~ 6.66Pa 宽跨度真空测量区间

4. 测量精度：氮气环境典型误差 ±15%

5. 气体适配：内置 16 种常用工艺气体灵敏度修正程序

6. 输出信号：DC 0~10V 模拟量输出；RS485 两线半双工数字通讯

7. 供电规格：DC20~28V 直流供电，额定功耗 13W，可选配 AC100V 稳压适配器

8. 法兰接口：标准 NW25 快拆真空法兰

9. 防护等级：机身防护等级等同于 IP40，符合欧盟 RoHS 环保标准

10. 传感灯丝：铂材质阴极灯丝，耐微量腐蚀气氛，机械抗冲击性能优异

11. 使用环境：10~40℃，相对湿度 20~80% RH 无凝露洁净车间、实验室工况

12. 适配设备

• 半导体产线：单晶圆溅射机、电子束蒸镀设备、薄膜沉积腔体

• 分析仪器：XPS、SEM、表面能谱分析超高真空腔体

• 工业设备：热处理真空炉、小型空间环境模拟舱

13. 标配组件：TRI-10-N25Y 一体化真空计主机、原装铂阴极传感灯丝组件、NW25 标准法兰密封套件、DC 稳压供电适配器、出厂真空精度溯源校准标准真空腔体、双语半导体真空运维说明书、传感腔体专用无尘清洁耗材

日本diavac 一体化热阴极电离真空计

核心功能特点

1. 传感、控制、显示一体化集成结构，省去分体控制器布线安装，狭小真空设备工位可直接部署，减少现场布线改造工作量。

2. 自适应发射电流自动切换，高低真空区间自动匹配工作参数，全程维持稳定测量灵敏度，避免低压区间信号微弱、高压区间灯丝过载损耗。

3. 内置 16 种工艺气体修正程序，切换氩气、氧气、氮气等不同制程介质时一键切换补偿参数，大幅降低特殊气氛下测量偏差，保障工艺判定准确。

4. 双路标准工业信号输出，模拟电压信号直连记录仪，RS485 数字通讯对接产线 PLC 控制系统，适配自动化生产线数据采集与联动控制。

5. 标准 NW25 通用真空法兰，行业主流镀膜腔体直接对接，拆装快拆结构，设备腔体维护时可快速分离真空计，不耽误产线检修进度。

6. 铂材质耐腐蚀阴极灯丝，半导体微量工艺腐蚀气氛长期运行不易老化断裂，延长传感耗材更换周期，减少产线停机频次。

7. 三重运行状态可视化提示灯，直观区分正常监测、灯丝损耗、通讯异常三种工况，现场运维人员快速识别设备故障。

8. 完整真空设备运维台账配套归档，真空监测量程、工艺气体类型、灯丝更换时序统一记录，长期管控腔体真空度监测偏差、灯丝提前老化、工艺联动失控生产隐患。

9. 传感头积灰、灯丝零点漂移易排查，配套清洁耗材擦拭金属传感腔体、标准校准真空腔体核查即可恢复标准测量精度，年度计量标定频次低。

适用场景

1. 半导体晶圆镀膜产线：溅射、电子束蒸镀腔体超高真空实时监测，稳定管控薄膜沉积工艺真空条件，保障镀膜均匀性。

2. 表面分析科研实验室：扫描电镜、光电子能谱仪腔体真空监测，满足材料微观表征严苛真空要求。

3. 光学元器件加工车间：镜头、显示面板薄膜沉积腔体真空监控，规避真空波动造成光学瑕疵。

4. 热处理真空设备车间：金属退火、钎焊真空炉腔体压力监测，稳定热处理成品性能。