描述：日本ULVAC 工业真空腔体在线监测真空计
、本产品为日本 ULVAC 爱发科热传导式真空测量成套模块，由主机单元与专用传感探头组合配套使用，依靠气体热传导特性完成真空压力检测，适配常压至中低真空区间。探头内部采用耐腐蚀铂丝发热元件，可接入各类真空腔体与管路，探头拆装更换操作简单。主机具备状态指示灯，可输出模拟压力信号以及两路开关设定信号，能够对接控制系统实现工艺联锁管控。

产品型号：SP1
厂商性质：代理商
更新时间：2026-08-07
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本ULVAC 工业真空腔体在线监测真空计

基础核心参数

型号：SP1 主机 + WP‑02 传感探头
设备类型：皮拉尼热传导式真空计模块
品牌：ULVAC 爱发科（日本）
测量原理：气体热传导皮拉尼原理
可测压力区间：0.4‑3000Pa
供电规格：DC24V
模拟输出：0‑5VDC 非线性电压输出
设定输出：2 路集电极开路输出，附带故障信号输出
更新响应时间：50ms
WP‑02 接口规格：NW16 真空法兰
灯丝材质：铂丝
IO 接口：D‑sub15 连接器，附带 USB‑C 调试通讯端口
状态指示：电源、故障、两路设定点 LED 指示灯
主机重量：约 190g（不含探头）
工作环境温度：10‑40℃，无凝露
标配配件：SP1 主机、WP‑02 真空探头、D‑sub15 接头、操作手册；信号线缆、调试软件另行选配

日本ULVAC 工业真空腔体在线监测真空计

核心功能特点

1. 采用铂丝发热传感元件，耐腐蚀性表现良好，对于普通工艺气体适应性更强，延长探头使用寿命。2. 探头拆装便捷，同主机可兼容多款不同接口规格探头，现场更换不用改动主机电路。3. 提供两路独立设定点输出，可以设置上下限真空阈值，实现设备联锁、报警触发功能，适配自动化工艺管控。4. 输出模拟电压信号，直接对接采集板卡、PLC，把真空压力转化为系统可读信号，完成数据采集记录。5. 机身自带 LED 状态灯，电源状态、故障告警、设定点触发状态直观可见，现场快速判断设备运行状态。6. 模块式紧凑型结构，无需外置显示表头，节省控制柜安装空间，便于嵌入整机设备内部。7. 配备调试通讯端口，可连接电脑完成参数调整与设备校准，方便设备维护作业。8. 测量覆盖常用低真空区间，从粗抽阶段到工艺真空段都可以开展监测，适配多数真空设备工况。9.WP‑02 采用标准 NW16 真空法兰，可直接装配在真空腔体、管路端口，安装密封可靠。10. 响应速度快，可以捕捉抽真空过程压力变化，跟踪腔体升压、泄压动态过程。11. 既可作为新设备内置测量元件，也可以用于产线设备点检监测，老旧真空计备件替换同样适用。

适用场景

1. 半导体行业，溅射、清洗设备腔体低真空压力在线监测与工艺联锁。2. 热处理行业，各类真空炉腔体真空状态监控，实现工艺压力判定。3. 镀膜行业，真空镀膜设备粗抽阶段真空度检测。4. 科研实验室，各类真空实验腔体压力采集，实验过程数据记录。5. 通用真空设备，真空泵性能点检、真空管路泄漏筛查。6. 原有真空测量模块老化损坏，现场备件替换。