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德国sios 双光束激光干涉测量设备

描述：德国sios 双光束激光干涉测量设备
本产品为德国 SIOS‑Precision SP5000 DS 双光束激光干涉仪，属于非接触式高精度光学测量设备，可同步完成长度位移与角度检测。设备输出两束经过高精度校准的平行激光，共用同一激光光源，依靠干涉原理采集光程差信号，经过运算同时输出位移数值与倾斜角度数据，多用于精密运动平台标定、科研试样检测、设备在线测量场景。

  • 产品型号：SP5000 DS
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-08
  • 访问量：15
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

德国sios 双光束激光干涉测量设备

基础核心参数

  1. 型号：SP5000 DS

  2. 设备类型：双光束激光干涉仪

  3. 品牌：SIOS‑Precision（德国西奥斯）

  4. 作业对象：运动平台位移、倾斜角度同步测量，设备标定，科研试样精密检测

  5. 检测方式：双光束激光干涉，非接触光学测量

  6. 输出形式：位移、角度测量数据，支持数字通讯对外输出测量信号

  7. 安装形式：基座固定安装，可集成至设备内部或者实验台

  8. 工作环境：室内工位，低粉尘，规避强振动、凝露

  9. 可选配置：各类光学反射镜、不同材质传感器头、通讯套件、真空版本另行选配

  10. 标配配件：干涉仪本体、操作手册；光学配件另行选配

德国sios 双光束激光干涉测量设备

核心功能特点

  1. 双光束测量架构，同一套设备可同步采集长度位移与倾斜角度两项数据

  2. 非接触光学检测，无机械接触磨损，适配高精度长时间测量工况

  3. 光束间距出厂高精度校准，测量角度分辨率高，测量反射镜允许倾斜范围大

  4. 传感器头部可选多种材质，可适配普通环境、真空腔体等不同使用条件

  5. 整机结构紧凑，便于集成在自动化设备、检测工装内部使用

  6. 支持多种反射镜，球面镜、平面反射镜均可适配，调试操作便捷

  7. 丰富触发功能，可对接外部系统，实现测量同步触发采集

  8. 光学配件可单独维护更换，降低整机更换的运维投入

适用场景

  1. 半导体行业，精密运动平台位移、俯仰倾斜角度标定检测

  2. 精密机械行业，直线滑台、位移台精度校验，运动误差测试

  3. 光学研发，各类试样纳米级位移、微小倾角同步测量试验

  4. 高校科研工位，科研设备搭建，完成多维度光学测量实验

  5. 自动化检测设备配套，在线采集位移角度数据，输出测量信号

  6. 原有激光干涉仪精度衰减，现场备件替换升级

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