描述：维萨拉Vaisala Polaris™半导体在线折光仪，利用折射率原理实时监测 CMP 浆料中 H₂O₂氧化剂、各类酸碱药液浓度。改良 PTFE 超纯流通池，支持 Flaretek/Pillar 半导体标准接口，可直接串接产线管路。无运动部件，自带温度补偿，气泡、颗粒工况仍可稳定输出数据；可替代传统离线滴定分析，用于 CMP 配液 POU 点、化学品供液系统

维萨拉Vaisala Polaris™半导体在线折光仪维萨拉Vaisala Polaris™半导体在线折光仪

一、产品细节图

整套系统由PR53S 折光传感探头 + Indigo520/Indigo80 信号变送器两部分组成。PR53S 探头为圆形一体化壳体，外壳浅灰白色，正面光学棱镜窗口，后端为半导体专用 1/4‑1 英寸 Pillar/Flare 流体接口；流通池为改性 PTFE 材质，无金属接触介质。Indigo520 变送器为 DIN 导轨安装金属壳体，带显示屏、通讯端子；Indigo80 为手持现场调试终端。探头与变送器采用专用屏蔽线缆连接。探头体积小巧，可直接集成湿法台柜、CMP 浆料循环管路、POU 点，无需庞大旁路取样柜；防爆版本外壳做隔爆防护，满足危险化学品区域安装，整体适配半导体洁净车间环境维萨拉 (...。

二、产品性能

基于全反射折光测量原理，测量折射率范围 1.32‑1.53 nD，折射率精度 ±0.0002 nD；内置集成 Pt1000 温度传感器自动温度补偿，消除温度对浓度读数干扰。探头内部无任何运动部件，长期运行几乎免维护；浆料内含有气泡、研磨颗粒、微量晶体条件下仍可稳定输出浓度信号，适配 CMP 二氧化硅、氧化铝浆料，可精准监控H₂O₂质量分数，精度可达 ±0.02wt%。支持实时连续在线测量，不消耗样品，无需化学试剂；输出 4‑20mA、Modbus RTU、以太网信号对接工厂 PLC/SCADA；可设置浓度上下限报警，联动配液系统做闭环控制。提供 ATEX / IECEx 本安防爆选型，可部署在化学品储存防爆区域。一台变送器最多可接两支 PR53S 探头；可使用 Indigo80 手持终端现场校验、读取历史数据，无需停机拆机。

三、产品用材

与流体接触：改性高纯 PTFE（特氟龙）流通池；光学窗口为耐化学特种棱镜；密封件全氟橡胶；探头外壳耐腐蚀工程塑料；变送器壳体压铸铝合金；线缆为半导体级屏蔽耐腐电缆。接液部件低金属析出，不会污染 CMP 浆料与高纯湿化学品，适配 HF、KOH、SC‑1、H₂O₂等强腐蚀介质。

四、参数表

表格

五、产品型号

PR53S 标准半导体探头；PR53S‑EX 防爆型；配套 Indigo520 导轨变送器；Indigo80 手持调试单元。

六、产品用途

1）CMP 制程：在线监测 CMP 浆料 H₂O₂氧化剂浓度，浆料混合分配系统故障预警；2）半导体湿化学品：HF、DHF、KOH、NH₄OH、SC‑1 药液浓度在线监控；3）进厂化学品来料在线检测；刻蚀、清洗工艺药剂浓度监控；4）替代离线滴定，减少取样人工，提前识别配液错误，避免批量晶圆报废，用于 200/300mm 晶圆 Fab 产线以及研发中试线Vaisala。

七、产品包装

PR53S 探头、变送器、屏蔽线缆、安装接头配件独立防静电木箱分装；光学探头做防潮防尘保护；配套操作手册、出厂校准证书、防爆证书副本、接线图纸。外包装标注精密过程分析仪表，防潮防震，洁净防护。

八、使用说明

探头使用半导体标准 Flare/Pillar 接头直接串接 CMP 浆料管路；变送器 DIN 导轨安装在电气控制柜，24VDC 供电，做好设备接地。完成介质‑折射率标定曲线，在软件设置对应化学品浓度报警阈值。设备无消耗件，不需要频繁拆卸校准；停机可跟随产线 CIP 就地冲洗棱镜窗口；禁止私自拆开探头壳体，光学窗口严禁硬物刮擦。防爆型号严格遵循 Ex 本安安装规范。可通过 Indigo80 手持终端现场读取数据、校验参数。