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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本Matels半导体炉垂直布里奇曼晶体生长炉日本Matels半导体炉垂直布里奇曼晶体生长炉
日本 Matels(マテルズ)MAT-50VGA 立式布里奇曼炉,半导体晶体生长专用高精度高温炉,最高温度可达 1600℃,可在可控保护气氛下长晶。可形成陡峭温度梯度,升降温程序可编程,温区控制精度高,配备晶体下降提拉机构、气体流量控制单元、独立温控控制柜。适合化合物半导体、光学单晶材料研发与小批量试制,炉体密闭性好,可搭配惰性气体氛围,整套集成温控、气氛、传动模块,是实验室晶体培育的专用高温设备。
产品性能MAT-50VGA 是 Matels 经典立式布里奇曼(Bridgman)晶体生长炉,核心特点是能够构建陡峭可控的温度梯度,适配多种单晶的定向凝固生长工艺。整套设备分为立式炉体、晶体升降传动机构、气氛供气单元、独立电控柜四部分。支持通入氩气、氮气等保护气体,抑制高温熔体氧化;升降、温区曲线可预先编程自动运行,控温稳定,温度梯度可调。配套高精度热电偶采集温度数据,控制柜带触摸屏,实时监控炉内温度、位置、气体流量参数,具备超温、断气、传动故障联锁保护。同系列升级款为 MAT-50VGA2,可切换陡峭或平缓温度梯度,满足更多材料配方试验。设备适合小试研发,腔体洁净,减少杂质引入,适配半导体、红外光学晶体的开发工作。
用材炉体外壳为防锈喷涂钣金,保温层选用高纯耐高温保温材料;加热元件适配 1600℃高温工况;坩埚支撑件可选耐蚀陶瓷、石墨材质;传动机构精密丝杆,运行平稳,下降速度均匀;气路管路采用不锈钢,密封件适配高温气氛工况;电控柜体抗电磁干扰,适合洁净实验室放置。型号MAT-50VGA(衍生型号 MAT-50VGA2)核心参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | MAT-50VGA |
| 炉型 | 立式布里奇曼晶体生长炉 |
| 最高使用温度 | 1600℃ |
| 气氛条件 | 惰性保护气氛(Ar/N₂) |
| 温度特性 | 可形成陡峭温度梯度 |
| 控制方式 | 多段程序控温,触摸屏操作 |
| 机构功能 | 晶体精密下降提拉机构 |
| 保护功能 | 超温、断气、过载联锁报警 |
| 配套系统 | 气体流量控制单元、独立控制柜 |
| 适用工艺 | 布里奇曼法单晶生长 |
用途化合物半导体单晶生长;红外、光学功能晶体研发;高温定向凝固材料试验;高校、科研院所新材料晶体小试制备;特种半导体材料配方工艺验证。不适用于常压空气下长期 1600℃连续烘烤、金属热处理大批量量产。包装立式炉主机、电控柜、气路组件、传动单元、说明书、出厂检测报告缓冲防护,分箱出口木箱封装。使用说明设备安放于稳固承重地面,预留通风空间;供气管路做好检漏,保证气氛密闭;按照晶体工艺编辑升降温、下降时序;升温前确认保护气体先行通入;定期检查保温材料、加热元件、密封件状态;晶体取出等待充分降温,避免高温氧化;定期校准热电偶保证控温精度。
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