产品展示/ PRODUCTS PLAY

我的位置：首页 > 产品展示 > 买验设备 > 镀膜机 > 日本爱发科ULVAC 电阻加热真空蒸发镀膜机

产品分类 / PRODUCT

买验设备

浓缩仪色谱仪粒度仪喷漆枪加注机消解仪净化设备制样机培养机离心机超声波音压计镀膜机研磨机切割机脱气机混合器注塑机恒温器清洗机加工机成型机管式炉铆接机除湿机溅射设备涂布机分配器喷雾装置臭氧机旋转蒸发仪超声波清洗机电炉

查看全部产品

描述：日本爱发科ULVAC 电阻加热真空蒸发镀膜机
VFR-200M 属于 ULVAC DEPOX 小型真空成套系列，把扩散主泵、旋片前级泵、真空阀门、真空测量仪表、控制电路全部整合在单台移动机架内，分为纯抽气机组与一体化蒸镀机两大版本，专门面向高校、企业小型研发实验室使用。设备核心采用三通切换阀结构，更换样品、开启钟罩腔体时无需关停扩散主泵，大幅缩短复抽真空等待时间。

产品型号：VFR-200M
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-22
访问量：111

产品咨询联系我们

产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本爱发科ULVAC 电阻加热真空蒸发镀膜机

风冷扩散泵集成一体，实验室免水路配套

传统扩散泵真空系统必须外接冷却水，改造实验室管路成本高；VFR-200M 全系扩散泵搭载内置风冷散热结构，通电即可运行，无需水冷机、水管铺设，普通实验室台面、通风柜旁均可放置。整机所有阀路、泵体、电控封闭在统一机架，管线布局规整，无零散外置泵体。

三通阀不停泵开盖，大幅提升实验效率

内置专用三通切换阀，换样品时腔体通大气、前级泵独立抽气，扩散主泵持续高温工作无需降温重启；传统设备每次开盖都要关停扩散泵等待冷却再升温，单次实验等待时间大幅缩短，适合频繁换样、多批次试样对比研发场景。

双真空计全程监测真空状态

机架正面集成皮拉尼真空计（粗真空）+ 电离真空计（高真空）两块数显表头，实时直观显示腔体内压力；系统到达镀膜工艺真空时可直观读数，判断蒸镀启动时机，仪表统一集成在机架，无需额外单独采购真空测量设备。

VFR-200M/ERH 蒸发款，一站式薄膜制备设备

顶部配备透明可视玻璃钟罩，内部搭载电阻加热蒸发电极，原厂蒸发电源配套，可蒸铝、金、铬、氧化介质等各类薄膜；最多拓展四路蒸发源，实现多层复合膜同步沉积；钟罩侧面预留多组电极、通气法兰接口，可加装离子清洗、气氛通入配件。

日本爱发科ULVAC 电阻加热真空蒸发镀膜机

机架模块化拓展，配件统一收纳

整机机架预留标准安装位，液氮冷阱、油雾过滤器、自动放气阀、外置真空计等选购配件均可直接加装在本机上，不用额外搭建支架；设备自带吊装吊环，搬运、进实验室电梯方便，底部万向脚轮 + 水平调节支撑脚，移动后调平稳定无晃动。

安全与维护设计

阀路结构精简，管路接头、密封件数量少，日常检漏、更换密封件操作简单；扩散泵、旋片泵检修口外露，更换泵油、清理泵体不用拆解整机；内置油雾过滤模组，防止真空油返流污染腔体薄膜试样，保障镀膜洁净度。

适用行业场景

高校材料学院：金属薄膜、光电薄膜、导电电极、纳米材料蒸镀实验；

光学研发：玻璃、石英基板反射膜、增透膜小型试样制备；

电子实验室：PCB 小片、半导体晶圆、元器件电极沉积；

企业研发部：新材料涂层、防腐薄膜、功能膜工艺摸索；

理化检测：真空环境下样品表面观测前预处理。

低运维长期稳定运行

原厂配套专用真空油，泵体密封耐久度高；风冷散热稳定，长时间连续抽气无过热停机；整机出厂完成真空检漏标定，年度仅需更换密封圈、定期更换泵油，普通实验人员可独立完成保养。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY

上一篇：SP25-01～11日本新科SHINKA 棒状浸入式超声波振子
下一篇：AD-5172日本艾安得AND 工业电机风机转速检测仪

风冷扩散泵集成一体，实验室免水路配套

三通阀不停泵开盖，大幅提升实验效率

双真空计全程监测真空状态

VFR-200M/ERH 蒸发款，一站式薄膜制备设备

日本爱发科ULVAC 电阻加热真空蒸发镀膜机

机架模块化拓展，配件统一收纳

安全与维护设计

适用行业场景

低运维长期稳定运行

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：