产品展示/ PRODUCTS PLAY

我的位置：首页 > 产品展示 > 买验设备 > 镀膜机 > 日本Elionix 超高分辨率 SEM 专用镀膜仪

产品分类 / PRODUCT

买验设备

超声波音压计镀膜机研磨机切割机恒温器清洗机加工机除湿机溅射设备涂布机分配器喷雾装置臭氧机旋转蒸发仪超声波清洗机电炉

查看全部产品

描述：日本Elionix 超高分辨率 SEM 专用镀膜仪
核心采用氩离子束溅射技术，可制备纳米级超微粒钨膜，满足 70 万倍以上高倍率 SEM 观测需求。设备低温涂层设计，样品热损伤小；绕镀性优异，复杂形貌及狭缝区域可均匀镀膜；镀膜周期短、膜层附着力强、不易产生污染，适配各类对表面形貌要求严苛的样品，是高分辨率 SEM 样品前处理的关键设备。

产品型号：ESC-101
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-15
访问量：16

产品咨询联系我们

产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Elionix 超高分辨率 SEM 专用镀膜仪

产品概述

ESC-101 为 Elionix 自主研发的高性能离子束溅射镀膜设备，聚焦高分辨率 SEM 样品的纳米级导电涂层制备。区别于传统溅射仪，其采用空心阳极离子枪 + 磁控管离子枪复合设计，产生高密度、高能量氩离子束，精准轰击靶材形成超细微粒涂层，兼顾膜层质量与样品保护性，广泛应用于科研与工业领域的高分辨率微观表征。

核心结构与设计

复合离子枪系统

融合空心阳极与磁控管离子枪优势，产生高密度、高能量 Ar 离子束；
离子束能量与密度精准可控，适配不同样品与镀膜需求。

纳米级钨膜沉积

标配高纯钨靶，可沉积粒径 0.2–0.5nm的超微粒钨膜；
膜层均匀致密，70 万倍 SEM 观察无颗粒感，不掩盖样品微观细节。

低温涂层腔体

镀膜过程中样品表面温度≤50℃，热损伤极低；
适配生物样品、高分子材料、热敏电子元件等易损样品。

高效真空与短周期设计

快速抽真空系统，真空度达 1Pa 后，3–5 分钟完成镀膜；
腔体结构优化，真空稳定性好，批次处理效率高。

优异绕镀与附着力设计

离子束溅射方向性与散射性平衡，狭缝、深孔、复杂形貌均可均匀镀膜；
膜层与样品表面附着力强，不易脱落，适配高倍率观测及长时间电子束照射。

低污染膜层特性

镀膜过程无有机污染，膜层不易吸附杂质，保障 SEM 观察清晰度；
腔体易清洁，维护便捷，长期使用稳定性高。

日本Elionix 超高分辨率 SEM 专用镀膜仪

核心功能

高分辨率导电涂层：制备纳米级钨导电膜，消除 SEM 观察时的荷电效应；
多材质适配镀膜：标配钨靶，可按需更换金、铂、碳等靶材，适配不同样品；
低损伤表面处理：低温工艺，保护热敏、软质、生物样品的原始形貌；
复杂样品均匀镀膜：优异绕镀性，适配三维结构、多孔材料、微小器件；
SEM 观测优化：膜层极薄且均匀，不掩盖样品微观特征，适配超高倍率观测。

产品优势

超高分辨率适配：纳米级钨膜，70 万倍 SEM 无颗粒感，优先传统镀膜设备；
极低热损伤：全程低温涂层，热敏样品友好，适用范围广；
高效便捷：短周期镀膜，操作简单，新手易上手；
日本原装品质：核心部件自研，离子枪寿命长，长期稳定性强；
应用场景广：覆盖半导体、生物、材料、电子等多领域高分辨率表征。

应用场景

半导体 / 微电子：晶圆、芯片、微纳结构的高分辨率 SEM 导电涂层；
生物医学：细胞、组织、生物大分子的微观形貌观察镀膜；
材料科学：高分子、陶瓷、复合材料、多孔材料的低损伤镀膜；
精密制造：微小零件、MEMS 器件、光学元件的表面导电处理；
纳米技术：纳米材料、二维材料、超薄膜的 SEM 观测前处理。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY

上一篇：ENT-5X日本Elionix 超微小压入硬度测试仪
下一篇：PDN 涂层机日本横山yokoyama-eng 精密狭缝式涂布机

产品概述

核心结构与设计

日本Elionix 超高分辨率 SEM 专用镀膜仪

核心功能

产品优势

应用场景

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：