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描述：日本Elionix 超微小压入硬度测试仪
专为大尺寸样品的微观力学性能评估设计，可在极小载荷下实现精准压痕测试。整机采用主动温控 + 主动隔振 + 低热膨胀材料，最大限度抑制环境干扰，数据重复性优异；支持高低载荷单元同时搭载，兼顾超软薄膜与硬质涂层测试；配备高倍率光学观测与精密位移平台，定位精准、操作便捷，广泛用于科研与工业界对超薄镀层、功能膜、聚合物及微小构件的硬度与弹性模量评价。

产品型号：ENT-5X
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-15
访问量：27

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Elionix 超微小压入硬度测试仪

产品概述

ENT-5X 为 Elionix 旗舰级大样品型纳米压痕仪，继承 ENT-5 核心技术并放大样品兼容能力，可对更大尺寸工件进行非破坏性微观硬度测试。设备采用全自研电磁力加载与电容式位移传感，实现超微小力与位移的精准控制，符合 ISO 14577 与 JIS Z 2255 标准，是薄膜、涂层、软质材料及微小区域力学表征的设备。

核心结构与设计

大型框架与样品腔

专为大尺寸样品设计，兼容常规设备无法容纳的工件；
屏蔽式腔体可集成多种功能模块，扩展能力强。

双载荷单元并行

可同时搭载高载荷单元与低载荷单元，一键切换测试量程；
电磁力加载，无机械摩擦，保证极低载荷下的稳定性。

超高精度位移测量

电容式位移传感器，亚皮米级分辨率，精准捕捉微小压痕深度；
全行程闭环控制，定位精度高。

环境干扰抑制系统

主动温控：腔体内温度稳定，抑制热漂移；
主动隔振：标配高性能隔振台，隔绝地面振动；
低热膨胀材料：关键部件采用低膨胀合金，降低温度形变。

高倍率光学观测

长工作距离金相显微镜，高倍放大，清晰观察微小区域；
精密 XY 平台，微米级定位，快速对准测试点。

核心功能

纳米压痕测试：获取材料硬度、弹性模量、屈服强度等力学参数；
载荷 - 位移曲线分析：自动解析曲线，输出关键力学指标；
表面力测试（可选）：评估材料表面吸附 / 排斥力，适用于界面力学研究；
自动多点测试：可编程路径，批量完成矩阵式测试，提升效率；
数据自动报告：内置分析软件，一键生成标准报告，减少人为误差。

日本Elionix 超微小压入硬度测试仪

产品优势

大样品兼容：突破传统设备尺寸限制，适配大型工件；
超宽载荷范围：覆盖超软到超硬材料，一机多用；
稳定性：温控 + 隔振 + 低膨胀设计，数据重复性好；
日本原装制造：核心部件自研，品质可靠，长期稳定性强；
操作友好：图形化界面，自动化流程，新手易上手。

应用场景

半导体 / 微电子：晶圆表面涂层、钝化膜、低 k 材料力学测试；
光学 / 显示：DLC 涂层、防反射膜、硬化膜硬度与弹性评估；
高分子 / 软材料：UV 固化树脂、水凝胶、弹性体微观力学表征；
新能源：电池电极涂层、隔膜、封装材料性能测试；
精密制造：刀具涂层、模具表面改性层、微小零件硬度检测。

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