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德国Precitec 飞点扫描器成套光学检测系统

描述：德国Precitec 飞点扫描器成套光学检测系统
FSS 飞点扫描器是普雷茨特自研的新一代光学面扫描计量设备，依靠内部光学偏转组件实现测量光点大范围快速移动，无需搭配外置 XY 直线运动平台，简化自动化设备结构、缩短整机检测节拍。整机采用远心光学光路，规避工件倾斜、边角带来的测量阴影与角度偏差，可穿透表层保护膜完成内部多层结构无损检测。

  • 产品型号：FSS
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-06-30
  • 访问量：88
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

德国Precitec 飞点扫描器成套光学检测系统

基础规格参数

型号：FSS 系列（FSS40 / FSS80 / FSS310）
扫描实现方式：内部高速光学偏转扫描，无需外置 XY 运动平台
光学光路：全域远心光学系统，抑制阴影与角度误差
配套传感主机：CHRocodile 2 IT 系列 OCT 干涉传感器
检测方式：红外非接触无损测量，可穿透透明保护膜
扫描轨迹：软件自定义，直线 / 点阵 / 矩形 / 异形轮廓多模式可选
适配工件材质：硅、碳化硅、各类光学玻璃、柔性薄膜、PCB 涂层、透明塑料件
运行场景：自动化产线在线集成、实验室离线台式检测
机身结构：标准化模块化金属机身，工业防尘密封设计
数据输出：完整 3D 形貌、分层膜厚、翘曲、段差数值同步输出
电气通讯：工业标准通讯协议，可对接产线 PLC、上位机数据系统
配套软件：原厂专业计量分析软件，自动缺陷判定与报表导出
使用环境：无尘车间、恒温实验室通用，适配光电半导体行业洁净工况

德国Precitec 飞点扫描器成套光学检测系统

适用检测场景

  1. 半导体硅片 / 碳化硅晶圆批量品质全检

    整片晶圆一次性扫描，同步判定总厚度偏差、翘曲变形、内部空洞缺陷，缩短芯片产线检测节拍，提升整机产能。

  2. 折叠屏、柔性显示多层膜叠层在线质控

    屏幕各功能膜分层厚度、盖板平整度、气泡分层缺陷量化检测，精准定位工艺波动点位，降低屏幕报废率。

  3. 手机摄像头模组镜头倾斜度、镜筒台阶检测

    多镜头批量同步扫描，管控镜头装配倾斜误差、镜筒段差，保障成像无畸变、装配一致性稳定。

  4. PCB 电路板防护涂层、绝缘薄膜厚度监测

    线路板表层保护漆、绝缘涂层全域厚度筛查，管控喷涂工艺均匀度，预防线路短路、绝缘失效。

  5. 消费电子外壳绝缘涂层、密封胶层形貌检测

    机身内部聚氨酯绝缘涂层、密封胶区域靶向扫描，把控涂层厚度区间，稳定整机防水、绝缘性能。

  6. 光学镜片、导光板平面度与微结构质检

    各类透光光学元件表面形貌扫描，识别微小划痕、凹凸变形，保障光学成像、导光效果达标。

  7. 实验室新品材料、薄膜配方研发对比试验

    离线检测不同工艺试样多层结构差异，辅助优化镀膜、贴合工序参数，完成新品性能验证。

  8. 第三方精密光电零部件委托计量检测

    出具完整可溯源 3D 形貌、膜厚数据报告，用于产品申报、工艺仲裁、出厂品质审核。

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