TFL2100TFL3200TECHNOMU TFL系列非接触平面度测量仪
TECHNOMU TFL系列非接触平面度测量仪,搭载激光位移检测技术,无需接触工件即可完成晶圆、玻璃、陶瓷的平面度、平行度、翘曲检测。配备花岗岩基准底座与气浮主轴,检测精度高达0.001μm,支持2-12英寸全尺寸晶圆检测。多型号覆盖旋转扫描、XY门架、多探头高速检测模式,可自动判定工件OK/NG,适配科研检测与产线全品筛查,稳定性强、检测效率高。
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更新日期
2026-09-15 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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2026-08-03





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