TMS‑2000日本santec 半导体晶圆厚度分布测量仪
日本santec 半导体晶圆厚度分布测量仪
该设备为非接触式晶圆厚度与平坦度测绘系统,采用单面红外干涉扫描方式,无需晶圆翻面,可完成全域厚度、翘曲、平坦度检测。兼容 P 型硅、碳化硅、氮化镓、玻璃、铌酸锂、SOI 等多种基材晶圆。设备具备较强抗温度漂移、抗振动能力,普通车间环境无需严苛恒温防震平台,既可用于实验室研发,也可放置产线工位做制程抽检。
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更新日期
2026-08-11 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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2026-07-30





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