VU-430日本LINTEC 双流体喷嘴高效汽化器
日本LINTEC 双流体喷嘴高效汽化器
本设备为日本 LINTEC 琳得科 VU-430 电磁控制阀式高效汽化器,采用双流体雾化喷嘴结构,液体与载气在喷嘴前端混合雾化,微小雾滴进入汽化室充分受热转化为稳定气相,广泛用于半导体 CVD、ALD、薄膜沉积工艺。汽化室搭载分段独立温控结构,可根据物料特性精细调节温度,有效抑制低蒸气压、易热分解前驱原料发生聚合、变质。
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更新日期
2026-07-22 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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2026-04-21

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