欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司！

18771980172

产品展示/ PRODUCTS PLAY

我的位置：首页  >  产品展示  >  外观分析设备  >  测试仪  >  匈牙利SEMILAB 全自动汞探针 晶圆测试系统

产品分类 / PRODUCT

查看全部产品

相关文章 / ARTICLE

日本 SIMCO 思美高 ST-4 表面电阻测试仪 简介2026-07-13
日本横河 YOKOGAWA MY600 数字绝缘电阻测试仪 简介2026-07-13
日本太洋电机 GOOT TM-200 电烙铁综合测试仪 产品介绍2026-07-13
日本 KATO TECH 加藤技术 HFT03C 手持式柔性薄膜触感压缩测试仪 产品介绍2026-07-08
日本 DAKOTA MINI-MAX 超声波螺栓轴力应力测试仪 产品介绍2026-07-03

匈牙利SEMILAB 全自动汞探针 晶圆测试系统

描述：匈牙利SEMILAB 全自动汞探针 晶圆测试系统
MCV-2200 是 SEMILAB 推出全自动汞探针 C-V 电学计量设备，依托液态汞临时栅极结构，无需晶圆金属化工艺，即可完成无图形外延片、衬底材料电学特性无损表征，广泛用于硅基与宽禁带化合物半导体前道制程管控。

  • 产品型号：MCV-2200
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-07-01
  • 访问量：71
产品咨询 联系我们
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

匈牙利SEMILAB 全自动汞探针 晶圆测试系统

基础规格参数

型号：MCV-2200
测量原理：汞探针电容 - 电压（Mercury C-V）无损检测
适配晶圆尺寸：100mm / 150mm / 200mm
载具兼容：开放式料盒、SMIF 载具、FOUP 密封料盒
拓展测量模块：多频 CV 模块、IV 电流电压应力模块、汞蒸汽监测模块
探针毛细管规格：标配 1.7mm，可选 0.5/0.7/1.0/4.0mm 多种口径
晶圆识别：正反面光学 ID 读取，适配透明 SiC/GaN 晶片
工业通讯：SECS/GEM 标准工厂通讯接口
操作软件：SAM 系列专用半导体计量分析软件
洁净适配：ISO1 无尘车间适配整机结构
操作界面：工业触控人机交互面板
供电规格：AC100~240V 宽电压单相市电

匈牙利SEMILAB 全自动汞探针 晶圆测试系统

适用检测场景

  1. 硅基外延片量产线片内均匀度常态化监测

    硅外延生产车间批量晶圆 Mapping 扫描，管控整片掺杂浓度、外延层厚度波动，稳定外延生长工艺参数。

  2. SiC/GaN 宽禁带半导体衬底与外延材料研发测试

    第三代半导体实验室透明晶片无损电学表征，评估宽禁带材料载流子分布、氧化介质层品质。

  3. MOS 工艺栅介质薄膜特性与可靠性评估

    前道氧化、沉积工艺配套检测，通过 CV/IV 应力测试分析栅介质界面态、耐压耐久性能，优化薄膜沉积流程。

  4. 半导体新材料工艺研发小样快速电学筛查

    新工艺试制无图形晶圆无需金属化预处理，上机即可完成全套电学测试，缩短新材料配方调试周期。

  5. 第三方半导体材料检测机构公证计量核验

    整套检测逻辑契合国际半导体计量行业规范，完整留存整片 Mapping 图谱数据，用于晶圆来料贸易、产线资质年审审核。

  6. 功率器件、射频器件衬底来料入库品质验收

    功率、射频芯片衬底进厂抽样全域扫描，筛选片内电学差异超标的批次，规避后道器件成品不良。

  7. 半导体外延设备工艺匹配调试配套计量设备

    外延炉工艺参数调整前后晶圆对比测试，直观反映生长温度、气源配比改变对外延层电学性能的影响。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

拿起手机扫一扫
地址：湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期3栋3层07号F394
邮箱：18771980172@163.com
联系人：李经理

Copyright © 2026津越工业设备(武汉)有限公司 All Rights Reserved    备案号：鄂ICP备2026021557号-1

技术支持：化工仪器网    管理登录    sitemap.xml