描述：日本COSMOS 半导体泵吸式特气检测装置
整机采用模块化一体化设计，传感单元出厂预校准，现场直接插拔替换，无需带入标气进入无尘室造成污染；自带流量自动稳压系统，管路滤芯堵塞会自动补偿流量并弹窗报警，省去人工每日点检流量工序。机身搭载本地液晶显示屏，浓度、报警、故障信息同屏直观查看，支持模拟信号、DeviceNet 工业总线两种输出方式，可直接对接产线 PLC 实现联锁停机。

产品型号：PS-7
厂商性质：代理商
更新时间：2026-07-03
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本COSMOS 半导体泵吸式特气检测装置

基础核心参数

检测方式：内置泵吸引式，标准采样流量自动恒定控制

适配传感原理：定电位电解、热线半导体、隔膜伽伐尼电池，可搭配热分解组件检测氟化物

采样管路：特氟龙专用采样管，最大采样管路距离 20m

显示配置：4 位数字 LCD 液晶，搭配条形图同步展示实时浓度

报警配置：两段气体浓度报警、流量堵塞报警、传感器故障报警多重提示

信号输出：DC4~20mA 模拟量输出；可选 DeviceNet 工业总线通讯

安装方式：墙面壁挂一体式安装结构

整机尺寸：W62×H124×D143mm

整机净重：约 1.0kg

供电规格：DC24V 工业直流供电，整机功耗约 7W

日本COSMOS 半导体泵吸式特气检测装置

核心功能特点

流量自动稳压控制系统，管路滤芯积灰堵塞时自动补偿流量，同步触发堵塞预警，无需人工每日点检流量
插拔式预校准传感模块，传感器更换仅需零点简单校验，无需携带标气进入无尘洁净车间，规避车间污染风险
多类型传感原理自由选配，可检测可燃气体、有毒腐蚀特气、氧气，搭配热分解模块可实现 NF₃等氟气监测
双输出信号设计，4~20mA 模拟量适配常规二次仪表，DeviceNet 总线可直连工厂 PLC、MES 自控系统实现联动
整机体积缩减至传统机型一半，轻量化小巧机身，无尘车间狭小控制柜、机台侧边均可壁挂安装
一体式液晶操作面板，气体浓度、报警状态、管路堵塞、传感故障全部同屏展示，现场巡检一目了然
多重分级报警机制，两段浓度阈值独立设置，搭配故障干接点输出，超标可直接联动排风、机台停机联锁
无工具快拆结构，传感单元、内置采样泵、气路滤芯均可徒手拆卸更换，日常维护操作简单高效
整机适配无尘车间工况，外壳光滑易擦拭，不易积尘，符合半导体洁净区域管理要求
开机全流程自检，供电、泵体、传感、通讯线路异常自动识别并提示故障点位
采样泵长效耐用设计，连续数年稳定抽气，大幅降低泵体更换运维频次
防误插传感定位结构，传感器反向、错位无法装入，避免人为安装失误造成检测失效
支持手持终端现场读取设备运行数据，批量巡检无需逐台记录数值
气路全特氟龙防腐管路，适配各类腐蚀性工艺特气，杜绝气体吸附造成检测偏差
原厂支持传感器回收循环，更换后的旧单元统一返厂校准复用，长期使用降低耗材成本

适用场景

半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积机台工艺管路特气泄漏在线实时监测
光伏电池制造洁净车间废气、氟化物、可燃气体安全管控预警
电子洁净厂房工艺排风管道有毒、缺氧气体浓度持续巡检
半导体废气处理设备后端尾气达标状态 24 小时不间断监测
化工特种气体储存库房管路泄漏定点壁挂长期监测设备
第三方半导体洁净厂房安全验收特气标准化取证监测装置
高校微电子实验室工艺试验管路微量腐蚀气体在线管控
面板、显示器件无尘车间制程废气安全联锁监测系统配套

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