描述：日本toyokokagaku 便携式氦质谱检漏仪
本设备为日本 toyokokagaku 东横化学经典M-310LD-D 超便携干式氦质谱检漏仪，专为半导体、光伏、锂电真空制程打造，搭载干式隔膜前级泵 + 内置涡轮分子泵双级无油真空机组，全程无油雾污染洁净腔体，适配高等级无尘产线密封腔体、真空管路、镀膜设备泄漏筛查。

产品型号：M-310LD-D
厂商性质：代理商
更新时间：2026-07-16
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本toyokokagaku 便携式氦质谱检漏仪

基础核心参数

检漏原理：氦气示踪质谱传感，真空腔体内电离氦分子定量换算泄漏速率
完整型号：M-310LD-D 手提干式便携氦质谱检漏仪（经典停产便携款）
真空机组：干式隔膜前级泵 + 内置涡轮分子泵，全程无油运行
漏率检测区间：超微量微小漏率至大泄漏宽幅覆盖，适配真空精密制程
操作模式：喷吹外置探枪检漏、腔体内置吸枪双模式通用
控制配置：彩色触控面板，多套自动检漏程序本地存储，自定义报警阈值
报警功能：漏率超限声光双重告警，直观定位超标泄漏点位
探枪配套：加长柔性探枪，快插式接头，可伸入狭小密闭腔体盲区
供电规格：标准单相交流稳定供电，整机低功耗连续运行
整机形态：手提一体式轻量化机身，单人可携带至产线各工位巡检
适用环境温度：常规无尘车间常温区间
适用环境湿度：中等湿度无凝露工况
标配组件：M-310LD-D 氦检主机、加长柔性检漏探枪、标准快插连接管路、单相供电电源线、出厂漏率精度溯源校准标准漏孔、双语半导体锂电真空车间检漏操作说明书、探枪滤芯管路专用无尘清洁耗材

日本toyokokagaku 便携式氦质谱检漏仪

核心功能特点

双级干式无油真空机组，区别油式检漏设备无油雾挥发，不会污染晶圆、光学镀膜、锂电真空腔体，适配千级百级高洁净无尘产线。
一体化手提内置泵体设计，无需搭配外置真空泵，整机单人手提移动，产线多点位腔体、管路巡回检漏灵活便捷。
双检漏模式通用，外部喷枪喷吹筛查管路焊缝、法兰漏点；内置吸枪对接腔体真空口直接检测，兼顾批量工件离线与设备在线巡检需求。
宽量程微量漏率高精度探测，可精准识别微米级密封缝隙微小泄漏，提前规避真空设备真空度不足、工艺气体泄漏报废隐患。
触控全自动检漏程序，一键启停抽真空、氦气探测、数值判定，新手简单培训即可独立操作，降低人工误操作概率。
加长柔性探枪搭配快插接头，可伸入镀膜机夹层、真空腔体狭小死角，一体式大型检漏仪无法抵达的隐蔽测点均可检测。
声光双重超限告警，漏率超标同步灯光蜂鸣提示，现场快速锁定泄漏点位，缩短产线故障排查停机时长。
耗材拆装简易，前端过滤滤芯、探枪密封接头徒手更换，阻隔空气中粉尘进入质谱芯体，延长设备核心部件使用寿命。
长时间连续运行低震动低噪音，不会干扰周边晶圆检测、光学镀膜精密设备稳定制程。
完整真空产线质检台账配套归档，检漏量程、漏率数值、工件批次时序统一记录，长期管控腔体泄漏、真空度不足生产隐患。
探枪滤芯积尘、质谱零点偏移易排查，配套清洁耗材吹扫管路、标准校准漏孔核查即可恢复标准检漏精度，无需频繁返厂标定。

适用场景

半导体晶圆车间：溅射、蒸镀、刻蚀真空腔体、法兰管路微小泄漏筛查，保障制程真空环境稳定。
光伏镀膜产线：光学薄膜沉积真空设备焊缝、密封垫圈检漏，杜绝薄膜色差、镀膜不均缺陷。
锂电研发车间：固态电池真空封装腔体、电解液输送密闭管路微量泄漏检测，防止水汽侵入电芯失效。
真空元器件实验室：微型真空阀、密封容器、特种管材密封性出厂检漏验收。

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