欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司！
18771980172欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司！
18771980172
产品分类 / PRODUCT
相关文章 / ARTICLE
2026-08-12
2026-07-24
2026-07-22
2026-07-21
2026-07-21
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATIONbronkhorst 超紧凑型微流体 MFC 流量控制仪
型号：IQF‑200C
测量原理：MEMS 芯片热式质量流量传感，内置微型控制阀 + PID 闭环控制
流量量程（以氮气为基准）：最小 0.2‑10mlₙ/min；最大 0.1‑5Lₙ/min，中间量程可选
精度：＜±1.5% RD ±0.5% FS（基于实际气体标定）
重复性：＜±0.5% FS（流量＜20mlₙ/min）；＜±0.5% RD（流量＞20mlₙ/min）
量程比：1:50
适用介质：干燥洁净无腐蚀非爆炸性气体；标准标定 N₂、空气、Ar、He、CO₂、H₂，其他气体可定制标定
气体校准曲线：本机最多存储 8 组
工作压力：真空‑10bar (g)，阀两端最大压差 9bar
工作温度：5‑50℃
泄漏指标：氦检漏＜1×10⁻⁸ mbar・l/s
供电：DC15‑24V ±10%
信号接口：模拟量 0‑5/10V、4‑20mA；数字 RS232 / RS485
接液材质：标准铝合金、硅、氧化硅、环氧树脂；可选不锈钢阀体
防护等级：IP40
安装形式：管路直装、设备底板嵌入式集成
标配配件：IQF‑200C 主机、密封接头组件、接线端子配件、操作说明书
选配配件：不锈钢阀体、manifold 歧管模组、溯源校准证书
MEMS 芯片传感方案，整机高度紧凑，体积远小于传统 MFC，非常适合台式仪器、OEM 设备内部嵌入集成，节省设备内部空间。
内置 PID 闭环控制 + 微型控制阀，流量调节响应迅速，快速到达设定值，保障微量气体工况流量稳定输出。
内部可存储 8 套不同气体校准曲线，多种气体直接调用，不用更换硬件，方便多气体轮换试验与工艺切换。
模拟、数字双通讯体系，模拟量适配传统工控，RS232/RS485 数字接口实现上位机参数设置、流量读取，适配自动化系统集成。
严格的氦泄漏指标，气密性优异，适配微量、高纯气体回路，降低外界空气渗入带来的工艺干扰。
接液部件材质可选，标准铝合金版本满足多数常规工况，不锈钢阀体选配适配部分特殊介质需求。
对安装姿态敏感度低，设备内部多角度安装，不强制严格水平摆放，设备结构设计自由度更高。
面向 OEM 设备厂商开发，可同歧管模组组合，实现多路气体流量集中控制，适配小型气体配比系统搭建。
分析仪器行业，各类分析设备内部载气、吹扫气微量流量闭环控制。
医疗设备，仪器内部工艺气体供给、微量气体配比流量管控。
科研实验室，小流量气体配比、材料处理试样制备，工艺条件开发验证。
OEM 设备集成，台式工艺设备内部嵌入，作为设备原生流量控制单元。
新材料小试装置，反应腔体保护气、载气微小流量精准调节。
高校科研平台，气体相关工艺实验，多路微量气体混合实验平台搭建。
小型气体发生、配比装置，多路微量气源流量独立控制。
需要对洁净干燥非腐蚀气体，做微流量高精度闭环控制，面向设备内嵌集成与科研试验工况。
拿起手机扫一扫Copyright © 2026津越工业设备(武汉)有限公司 All Rights Reserved 备案号：鄂ICP备2026021557号-1
技术支持：化工仪器网 管理登录 sitemap.xml
我的位置：
产品型号：
留言询价
上一篇：
地址：湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期3栋3层07号F394
邮箱：18771980172@163.com
联系人：李经理
返回顶部