描述：日本 Napson涡电流非接触片电阻测试仪日本 Napson EC-80 手动涡电流片电阻测量器，非接触无损检测，无需探针触碰样品，规避划伤晶圆、薄膜风险。搭配 4 款可选探头覆盖不同阻值区间，支持方块电阻、电阻率同步读取，晶圆放入探头下方自动触发测量。旋钮快速设置参数，操作简单，适配最大 8 寸硅片、ITO 导电膜、外延片。机身台式紧凑，适合实验室来料抽检、工艺比对，半导体、光电薄膜产线做导电层

产品型号：EC-80
厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-27
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 Napson涡电流非接触片电阻测试仪日本 Napson涡电流非接触片电阻测试仪

日本 Napson EC-80 手动涡电流片电阻测量器，非接触无损检测，无需探针触碰样品，规避划伤晶圆、薄膜风险。搭配 4 款可选探头覆盖不同阻值区间，支持方块电阻、电阻率同步读取，晶圆放入探头下方自动触发测量。旋钮快速设置参数，操作简单，适配最大 8 寸硅片、ITO 导电膜、外延片。机身台式紧凑，适合实验室来料抽检、工艺比对，半导体、光电薄膜产线做导电层电阻品质管控。

产品介绍

产品性能设备基于涡电流检测原理，属于单点手动测量机型，测量过程探头不接触样品表面，不会在晶圆、导电薄膜上留下压痕、划痕，适合易损伤的外延层、超薄导电膜样品。内置感应识别，样品放置到测量工位后自动启动检测，配合调节旋钮快速切换参数，上手门槛低。探头分低、中、高、超高四种规格，覆盖宽量程区间，用户根据待测样品阻值更换探头即可；读数包含方块电阻与电阻率两项指标，数据重复性稳定，不受接触电阻带来的波动干扰。机身自带显示屏幕，可直观查看实时测量结果，适合频繁换样、多批次比对的抽检场景，区别全自动 Mapping 设备，主打灵活低成本单点检测。用材主机壳体采用防静电工程塑料，适配半导体洁净车间环境；测量探头内部为精密感应线圈，外部绝缘防护；承载平台为防静电绝缘板材，防止样品静电损伤；内部信号处理电路板做屏蔽处理，降低车间电磁干扰对读数的影响；按键与调节旋钮耐磨耐用，适合高频次抽检使用。型号EC-80核心参数表

表格

项目	参数
型号	EC-80
测量原理	涡电流法（非接触无损）
测量项目	方块电阻、电阻率
适配样品	最大 8 寸晶圆，156×156mm 方形片
探头规格	Low / Middle / High / S-High 四款可选
量程 Low	0.01～0.5Ω/□，0.001～0.05Ω·cm
量程 Middle	0.5～10Ω/□，0.05～0.5Ω·cm
量程 High	10～1000Ω/□，0.5～60Ω·cm
量程 S-High	1000～3000Ω/□，60～200Ω·cm
触发方式	样品感应自动测量
外形尺寸	W220×D325×H210mm
整机重量	约 6.5kg
供电	AC100V

用途半导体硅片、GaAs、GaN 外延片来料抽检；ITO、金属导电薄膜方块电阻检测；光伏导电层、透明导电材料工艺验证；实验室新材料研发、配方对比；光电、显示行业导电膜制程巡检；高校科研样品电阻率测试。不适用于绝缘基材，样品必须具备导电特性。包装设备主机、选定规格探头、标准校准样片、防静电垫、配套线缆分开缓冲防护，出口木箱封装。包装内含原版操作手册、出厂校验报告，木箱做防潮、减震处理，保护精密感应线圈。使用说明设备放置在平整、无强电磁干扰的台面，优先在洁净环境使用；开机后使用配套标准片完成校准再测试；更换探头后需要重新校准；样品放置时居中对准探头，避免边缘测量；样品表面保持洁净，粉尘、污渍会影响磁场信号，造成读数偏差；测量完成及时收纳探头，避免磕碰损伤感应线圈；定期用标准参考片复核精度。售后服务提供探头选型、校准操作、读数判读技术指导；标准校准片、探头等配件可单独订购；远程协助排查读数漂移、异常报错故障，上门校准维护另行协商。

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