描述：芬兰Biolin Scientific表面接触角测量仪介绍：
Attension Theta Flex（芬兰 Biolin Scientific） 是半导体光刻胶研发与质控的旗舰级表面接触角测量仪，专为光刻胶/晶圆 /涂层的润湿性、表面自由能、粗糙度修正等高精度测试设计。晶圆厂与光刻胶材料实验室的标准配置。

芬兰Biolin Scientific表面接触角测量仪介绍：

Attension Theta Flex（芬兰 Biolin Scientific） 是半导体光刻胶研发与质控的旗舰级表面接触角测量仪，专为光刻胶/晶圆/涂层的润湿性、表面自由能、粗糙度修正等高精度测试设计，晶圆厂与光刻胶材料实验室的标准配置。

芬兰Biolin Scientific表面接触角测量仪参数：

一、核心参数（光刻胶测试标准配置）

品牌型号：Attension Theta Flex（Biolin Scientific, Finland）

接触角范围：0~180°，精度±0.01°，分辨率0.01°

测量模式：静态/动态（前进/后退）、滚动角、表面自由能（SFE）、粗糙度修正接触角

成像系统：USB3.0 500万像素高速CMOS， 3422fps，自动对焦

滴液系统：一次性针头（Disposable Tips），0.1~500μL，皮升级可选

样品台：电动XYZ， 763×230×435mm，承重26kg

3D形貌模块（光刻胶必选）：条纹投影，XY像素1μm，粗糙度修正（Wenzel/Young）

软件：OneAttension（全功能，免费升级）

尺寸/重量：765×620×460mm/55kg

二、光刻胶测试五大核心优势

亚微米级精度，匹配制程

0.01° 超高精度，精准捕捉光刻胶涂覆前晶圆清洗/羟基化/HMDS处理后的表面能变化（通常<1°差异），直接决定均匀性、针孔、边缘珠滴（Beading）。

动态接触角（前进/后退），评估涂布性能

自动测量前进角（Advancing）/后退角（Receding）， 滞后角（Hysteresis）直接反映：

光刻胶涂布均匀性

显影液润湿/渗透效率

抗蚀剂附着力与剥离性

3D形貌+粗糙度修正，消除纳米粗糙度干扰

光刻胶薄膜（50~200nm）粗糙度直接影响接触角。Theta Flex同步测3D形貌，自动计算真实杨氏接触角（Young's Angle），排除粗糙度伪差，数据可用于制程建模。

一次性针头，零交叉污染

光刻胶、显影液、清洗液（PGMEA、TMAH、水）切换免清洗，无残留/无交叉污染，符合半导体高纯/无尘室要求。

全自动批量测试（晶圆级）

支持8/12英寸晶圆，预设多点（中心/边缘/十字）自动测量，10分钟/片，数据直接导出SPC/CPK，适配量产质控。

三、光刻胶典型测试项目

晶圆表面能（酸/碱清洗、HMDS、UV臭氧处理）

光刻胶润湿性（静态/动态角、表面能极性/色散分量）

涂布缺陷预测（接触角>35°易珠滴、<10°易过蚀）

显影液兼容性（TMAH/四甲基氢氧化铵润湿速率）

剥离液/清洗剂评估（抗蚀剂剥离效率）

涂层均匀性（晶圆面内/面间接触角均匀度）