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描述：日本三鹰光器MITAKA 3D 表面形貌测量仪
PF 系列是三鹰光器主打高速大面积非接触三维表面测量系统，主力量产型号为 PF-60，核心搭载 Scan-AF 扫描自动对焦技术，相比传统单点逐行扫描效率提升 50 倍，搭配高精度 60mm 行程 XY 电动平台，无需分多次拼接即可完成数十毫米工件全域三维形貌采集。

产品型号：PF 系列
厂商性质：代理商
更新时间：2026-06-22
访问量：96

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本三鹰光器MITAKA 3D 表面形貌测量仪

Scan-AF 高速扫描，大幅缩短测量工时

传统单点对焦扫描大面积样品需 1 小时以上，PF-60 Scan-AF 全域扫描仅需 6 分钟完成同等范围三维成像；8000 点二维轮廓测量仅 15 秒，批量试样检测效率大幅提升，适配产线快速抽检场景。

极小光斑 + 高追焦，陡峭微结构精准捕捉

激光探头光斑半径仅 0.5μm，搭配高灵敏 AF 传感，可追踪大倾角斜面、深沟槽、微小光栅台阶，低反射、半透明薄膜、高抛光镜面都能稳定采集高度数据，不会出现边缘失焦漏测。

全材质兼容，非接触无损测量

无需探针接触工件，软镀膜、光刻胶、超薄光学膜、易划伤晶圆均可检测；金属、塑料、玻璃、硅、陶瓷、树脂全材质通用，解决接触式粗糙度仪划伤精密样品的痛点。

60×60mm 超大平台，大小工件一机通用

XY 全域 60mm 行程，微透镜阵列、小型模具、整片晶圆、光学镜片无需分段拼接扫描；搭配 5×~100× 多档物镜，微米级微结构与毫米级大工件自由切换测量。

日本三鹰光器MITAKA 3D 表面形貌测量仪

标准化粗糙度分析软件，数据可溯源

标配 MitakaMap 专业分析软件，完整遵循 ISO 25178 国际粗糙度标准，自动计算 Sa/Sz/Sk、台阶高度、翘曲变形、磨损体积、沟槽深度；3D 云图、2D 轮廓、数据表格可一键保存导出，满足论文、出厂质检存档需求。

桌面紧凑型设计，实验室灵活摆放

整机占地仅 400×400mm，重量 31kg，单人可搬运放置于实验台、质检工位，无需大型地基与专用机房；内置减震底座，普通台面即可保障测量稳定性。

全行业适配场景

光电光学：微透镜阵列、菲涅尔透镜、非球面镜片、光栅、光学镀膜台阶、玻璃基板翘曲；

半导体电子：硅片薄膜形貌、光刻微结构、PCB 线路高度、晶圆表面缺陷；

精密模具加工：模具型腔划痕、注塑件变形翘曲、抛光表面粗糙度；

材料摩擦学：耐磨涂层磨损体积、摩擦划痕深度定量对比；

新材料研发：微流控芯片、高分子薄膜、陶瓷精密坯件表征。

低维护稳定运行

激光光源长寿命，无易损耗探针耗材；物镜、载台仅需定期除尘清洁；出厂完成光学标定，年度简易校准即可长期稳定使用。

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Scan-AF 高速扫描，大幅缩短测量工时

极小光斑 + 高追焦，陡峭微结构精准捕捉

全材质兼容，非接触无损测量

60×60mm 超大平台，大小工件一机通用

日本三鹰光器MITAKA 3D 表面形貌测量仪

标准化粗糙度分析软件，数据可溯源

桌面紧凑型设计，实验室灵活摆放

全行业适配场景

低维护稳定运行

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