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日本ERD 分立半导体直流综合测试仪

描述:日本ERD 分立半导体直流综合测试仪
本设备为日本 ERD 株式会社 ATS-3810PRB探针台直装型分立半导体 DC/C 综合测试仪,专为晶圆前道探针检测开发,可直接固定于探针台机身,缩短测试回路与晶圆的走线距离,降低线路杂散电容带来的数值偏差,同步完成直流电性、器件电容两类指标高速检测。

  • 产品型号:ATS-3810PRB
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-21
  • 访问量:56
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本ERD 分立半导体直流综合测试仪

基础核心参数

  1. 工作原理:高精度源测单元输出电压电流采集器件直流特性,搭配电容模块检测 PN 结 / 栅极电容;设备存储测试程序、电压区间、分档规则完整时序数据,导出报表用于晶圆探针、功率器件电性筛选工艺复盘。

  2. 测试工位:单通道独立测试单元

  3. 输出电压范围:最高 800V

  4. 输出电流范围:最大 10A

  5. 程序存储:直流测试程序 200 组、排序分选程序 200 组

  6. 分档输出:20 档物料 Bin 分选信号输出,对接产线分拣机构

  7. 适配器件测试项目

    • 晶体管:VF、IF、BV、HFE、VSAT、VBE、ΔVBE

    • MOS 场效应管:Vth、Id、BVds、VdsOn、跨导 Yfs

    • 二极管:VF、IF、IL、ΔVF

  8. 通讯接口:USB2.0,可对接上位机产线管理系统

  9. 整机尺寸重量:540×263×400mm,整机自重 24kg

  10. 安全配置:前置急停按钮、输出过载保护、回路短路停机、硬件故障诊断跳转

  11. 使用环境:10~35℃万级无尘探针车间,湿度≤70% 无凝露,晶圆前道检测工位

日本ERD 分立半导体直流综合测试仪

核心功能特点

  1. 探针台直装紧凑型机身,无需独立测试机柜,缩短晶圆至测量回路距离,弱化杂散电容干扰,电容、击穿电压检测数值波动幅度小

  2. 无汞低噪声测量架构,无汞光源干扰微弱信号采集,小电流漏电流检测分辨清晰,识别芯片轻微漏电不良

  3. 200 组大容量程序存储,切换不同型号 MOS、二极管晶圆一键调取参数,换产调试耗时缩短

  4. 二十档物料自动分档输出,同步给分拣设备传递信号,完成良品、漏电、耐压异常物料自动分流

  5. 整机自诊断在线校验功能,开机自动识别探针断线、电极破损、电路偏移,提前提示维护,减少批量不良流出

  6. 高速测量优化软件可选配,缩短单颗芯片检测节拍,提升整条探针产线单位时间产出

  7. 全品类分立器件兼容,小信号三极管至 800V 大功率 IGBT 一套设备覆盖,适配多品类晶圆共线生产

  8. 多重安全防护体系,前置红色急停按钮,回路过载、高压异常自动切断输出,无尘产线长时间运行稳定可靠

  9. 标准化 USB 上位机通讯,数据实时上传工厂 MES 系统,实现整条制程数据联动管控

  10. 完整测试分选台账长久留存,电压、电流、容量、Bin 分档原始记录可回溯,半导体头部客户晶圆制程审厂可直接调取检测记录

适用场景

  1. 功率半导体行业:MOS 管、IGBT、整流二极管晶圆前道探针检测,管控耐压、导通电阻、漏电流指标

  2. 分立元器件工位:小信号三极管、稳压二极管、TVS 保护芯片电性分选,区分批次电性差异

  3. 新能源电控芯片:车载功率器件、储能开关管晶圆高速探针测试,匹配汽车电子严苛质控标准

  4. 光电半导体实验室:光耦、光敏二极管晶圆直流特性与结电容同步测定

  5. 高校微电子专业实验室,分立器件击穿、导通、电容特性对比教学配套设备

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