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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本eseaLink 固体轴真空旋转密封装置
型号：rf‑ss‑020fn
设备类型：固体轴旋转密封装置
品牌：esealink（日本）
作业对象：各类真空、压差工艺腔体，完成外部旋转动力向腔体内部传递，隔绝腔体与外界环境；用于半导体设备、镀膜设备、科研实验腔体、特种工艺设备
工作方式：固体实心轴结构；非线型接触密封原理；无油无润滑运行；法兰固定安装；可适配真空以及压差工况；金属主体结构；支持气体、部分液态介质隔离密封
输出形式：传递旋转扭矩，同时维持腔体内部密封状态，隔离腔体内部与外部环境，防止介质外泄或者外界杂质进入腔体
安装形式：法兰法兰固定式部件，直接锁紧在设备腔体壁面，固体轴伸入腔体内部完成传动
工作环境：真空或者压力腔体工况，规避大量硬质颗粒介质，控制腐蚀性介质接触密封部位，做好腔体介质过滤
可选配置：冷却组件、特殊材质密封配件、计量校验证书另行选配
标配配件：密封装置本体、密封垫圈、操作手册；冷却组件、替换密封配件另行选配
非接触式密封结构，整机无需润滑油供给，消除油脂挥发渗漏造成腔体污染，适配洁净工艺腔体。
实现旋转动力跨腔体传递，外部电机驱动，带动腔体内构件转动，同时维持腔体密封效果。
法兰式安装结构，拆装调试简单，直接对接设备腔体法兰接口，便于设备集成改造。
固体实心轴设计，轴体刚性好，扭矩传递稳定，适合连续运转工况。
摩擦阻力低，转轴转动顺滑，对驱动端负载压力小，降低设备驱动功耗。
金属主体部件，抗环境变化能力强，适配多种工艺介质，适应设备长时间连续工作。
可用于真空环境，也可以用于存在压差的压力腔体，一台部件适配多种腔体工况。
替换维护便捷，后期可单独处理密封相关损耗部位，无需整体改动设备腔体结构。
半导体工艺设备，真空腔体内部构件旋转传动，实现腔体隔离密封。
镀膜、溅射类设备，腔体转轴密封，外部动力传入真空腔体。
科研实验室，各类实验腔体，需要旋转动作同时维持腔体密闭的实验装置。
特种工艺处理设备，处理腔体内部旋转机构的密封隔离。
对腔体洁净度有要求，不能引入润滑油污染的工艺设备。
需要跨腔体传递旋转运动，同时维持腔体真空或者压差状态的各类工业设备。
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