描述：日本mitaka 工件划痕磨损缺陷测量设备
PF‑60 属于点自动对焦式非接触表面轮廓形状测量系统，依靠激光自动对焦探头采集工件表面三维形貌，不用探针接触样品表面，专门用来量化成品表面划痕、磨损、台阶、翘曲、沟槽、凹坑等各类形貌缺陷。区别普通共聚焦设备，搭载 Scan‑AF 高速扫描模式，兼顾 60×60mm 大范围扫描与微米级微小区域精细解析。

产品型号：PF‑60
厂商性质：代理商
更新时间：2026-08-13
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本mitaka 工件划痕磨损缺陷测量设备

核心参数

型号：PF‑60
扫描行程：X 60mm，Y 60mm，Z 测量行程 10mm
分辨率：XY 轴 0.1μm，Z 轴 0.01μm 光学尺解析
激光探头：半导体激光，搭配 100X 物镜时光斑 φ1μm，Z 向重复精度 σ=0.03μm
物镜配置：5X 定位观察物镜、100X 测量物镜，滑动切换机构
扫描模式：标准单点扫描、Scan‑AF 高速全域扫描，大幅缩短大面积样品测试时长
样品承载平台：210×210mm，最大样品重量 4kg，样品最大高度 100mm
照明：LED 科勒落射照明，亮度连续可调，方便定位缺陷位置
软件功能：MitakaMap 软件，支持 2D/3D 轮廓、粗糙度、平面度分析，CSV 数据导出，宏程序自动测量，兼容 ISO25178 相关标准
整机尺寸：400×400×450mm，设备重量 31kg，自带三点减震支撑脚垫
标配配件：PF‑60 主机、测量物镜、定位物镜、平台组件、操作软件、操作说明书
选配配件：非球面评价模块、CAD 比对模块、自动测量宏程序包、溯源校准证书

日本mitaka 工件划痕磨损缺陷测量设备

核心功能特点

Scan‑AF 高速扫描技术，对比传统逐点扫描，大面积区域测量耗时大幅压缩，几十毫米范围全域三维成像不用分段拼接，兼顾大工件检测效率与微米级测量精度。
非接触测量方式，无物理探针触碰工件，不会划伤软质薄膜、抛光镜面、光刻胶、超薄晶圆这类易损伤试样，可完成接触式轮廓仪无法测试的样品。
大小视场快速切换，5 倍物镜用来快速浏览工件全域，定位划痕、磨损、凹坑等缺陷位置；一键切换 100 倍高倍物镜，对缺陷微区开展精细形貌解析，减少样品重复装夹。
多材质样品适应性强，镜面、哑光、半透明、深色陶瓷、石墨、树脂、金属工件均可稳定采集高度信号，降低样品表面预处理要求，大部分样品上机即可直接测量。
完整缺陷量化输出，不仅生成 3D 形貌图像，还可以直接输出划痕深度宽度、磨损量、台阶高度、沟槽轮廓、平面度、二维 / 三维粗糙度等量化数值，方便做缺陷对比与不良判定。
宏程序自动测量能力，可以编辑存储测量流程，批量同类样品可自动完成扫描、分析、数据导出，减少人工反复操作，适合 QC 工位批量样品抽检。
台式紧凑型机身，仅需要 400×400mm 台面空间，自带减震脚垫，普通实验室台面安置即可，不需要额外搭建大型减震平台，降低场地改造投入。
数据输出格式丰富，测量图像、轮廓曲线、分析结果均可导出，方便报告制作、不良件归档比对，为工艺改良、失效分析提供量化依据。

适用场景

精密零部件质检，工件表面划痕、磕碰凹坑、磨损区域形貌定量评价。
半导体行业，晶圆翘曲、微沟槽、MEMS 微结构表面形貌检测。
光学元件，透镜、微透镜阵列表面轮廓、台阶、粗糙度检测。
模具行业，模具表面磨损、划痕、加工纹路形貌分析。
摩擦磨损实验，摩擦试验后试样磨痕深度、磨耗体积定量测试。
注塑、压铸产品，表面翘曲、流纹、成型缺陷形貌评估。
高校与材料研发，新材料表面工艺迭代，样品形貌对比试验。
需要无损方式，同时完成大范围工件与微区缺陷轮廓、粗糙度测量的检测项目。

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