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日本YAMADA山田半导体晶圆基板缺陷检查灯

描述:日本YAMADA山田半导体晶圆基板缺陷检查灯YP‑150I 为宏观观察用高照度卤素光源装置,照射光斑 φ30mm,照射距离 140mm 位置照度可达 400000Lx 以上,用于半导体硅晶圆、液晶基板表面异物、划痕、研磨不均、雾度、滑移缺陷目视检查。采用冷镜光学结构,热辐射相比传统铝镜降低约 2/3;具备两档照度一键切换,高照度 / 低照度快速切换观察

  • 产品型号:YP‑150ID
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-09-09
  • 访问量:28
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本YAMADA山田半导体晶圆基板缺陷检查灯

日本YAMADA山田半导体晶圆基板缺陷检查灯

产品优势

  1. 超高照度输出,缺陷检出能力强。照射距离 140mm,φ30mm 光斑照度≥400000Lx,接近 4 倍太阳光照度;色温 3400K 连续白光光谱,显色性能优异,可识别常规照明很难发现的微小划痕、雾状、研磨不均等细微表面缺陷。

  2. 冷镜减热光学设计。使用二向色冷反射镜,把红外热辐射隔离,工件受热仅传统铝反射镜的 1/3,长时间照射样品不易受热变形损伤,适合晶圆、液晶基板等热敏工件目视检查。

  3. 双档位照度一键切换,高照度用于找微缺陷,低照度用于观察整体形貌,无需手动调节电位器,工位操作简单。

  4. 强制风冷散热结构,长时间连续点灯工况下光源稳定性好;设备自带 12φ 安装轴,可直接固定支架,适配工作台、显微镜支架安装。

  5. 同系列 YP‑250I,光斑 φ60mm,照射距离 220mm,适合更大尺寸基板样品检查,分螺旋风扇型、管道排风风扇型两种版本可选。

核心参考参数

YP‑150I 高辉度卤素光源装置

  • 照射光斑:φ30mm

  • 标准照射距离:140mm

  • 照度:≥400000Lx

  • 灯泡型号:JCR15V150W(USHIO 牛尾)

  • 灯泡参考寿命:30‑50h(消耗件)

  • 色温:3400K,白光

  • 冷却:强制风扇风冷

  • 安装接口:φ12 安装固定轴

  • 外形尺寸:W102 × H351 × D128 mm

  • 整机重量:约 2.65kg

  • 使用环境:0‑40℃,无结露

适用场景

  1. 半导体硅晶圆、SiC 衬底表面缺陷目视检查(划痕、异物、研磨斑、滑移线、雾度)。

  2. 液晶玻璃基板、光学玻璃、陶瓷工件表面宏观外观抽检。

  3. 实验室、品检室人工目视缺陷检测工位。


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