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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本YAMADA山田半导体晶圆基板缺陷检查灯
日本YAMADA山田半导体晶圆基板缺陷检查灯
超高照度输出,缺陷检出能力强。照射距离 140mm,φ30mm 光斑照度≥400000Lx,接近 4 倍太阳光照度;色温 3400K 连续白光光谱,显色性能优异,可识别常规照明很难发现的微小划痕、雾状、研磨不均等细微表面缺陷。
冷镜减热光学设计。使用二向色冷反射镜,把红外热辐射隔离,工件受热仅传统铝反射镜的 1/3,长时间照射样品不易受热变形损伤,适合晶圆、液晶基板等热敏工件目视检查。
双档位照度一键切换,高照度用于找微缺陷,低照度用于观察整体形貌,无需手动调节电位器,工位操作简单。
强制风冷散热结构,长时间连续点灯工况下光源稳定性好;设备自带 12φ 安装轴,可直接固定支架,适配工作台、显微镜支架安装。
同系列 YP‑250I,光斑 φ60mm,照射距离 220mm,适合更大尺寸基板样品检查,分螺旋风扇型、管道排风风扇型两种版本可选。
照射光斑:φ30mm
标准照射距离:140mm
照度:≥400000Lx
灯泡型号:JCR15V150W(USHIO 牛尾)
灯泡参考寿命:30‑50h(消耗件)
色温:3400K,白光
冷却:强制风扇风冷
安装接口:φ12 安装固定轴
外形尺寸:W102 × H351 × D128 mm
整机重量:约 2.65kg
使用环境:0‑40℃,无结露
半导体硅晶圆、SiC 衬底表面缺陷目视检查(划痕、异物、研磨斑、滑移线、雾度)。
液晶玻璃基板、光学玻璃、陶瓷工件表面宏观外观抽检。
实验室、品检室人工目视缺陷检测工位。
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