描述：日本 napson 纳普森 EC-80P 电阻测量仪EC-80P 为涡流法非接触电阻测量设备，无需探针接触样品，避免划伤晶圆与导电薄膜。支持方块电阻、体电阻率、晶圆电阻率三种模式，可搭配多款可互换探头覆盖不同量程。主机可同时连接 2 支手持探头，探头贴近样品自动触发测量，内置数据存储，测量记录可导出。多用于半导体外延片、导电薄膜、光伏材料检测，适合实验室研发及产线来料抽检，可对样品多点重复测试评估

产品型号：
厂商性质：代理商
更新时间：2026-09-11
访问量：6

产品咨询联系我们

产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 napson 纳普森 EC-80P 电阻测量仪日本 napson 纳普森 EC-80P 电阻测量仪

1、产品细节图白底实拍整机：浅灰色台式主机，可折叠便携支架，正面显示屏、调节旋钮与功能按键，机身刻印 napson EC-80P 标识；配套两支手持涡流探头、黑色信号连接线、标准校准片整套平铺摆放。

场景图：半导体实验室，手持探头靠近硅片表面，非接触读取薄膜方块电阻，检测外延层导电均匀性。

2、产品性能采用涡电流感应原理，交变磁场感应样品涡流信号，换算电阻率与方块电阻，测量过程无物理接触，不会损伤贵重薄膜、晶圆试样。主机可同时接 2 支探头，5 档不同量程探头可选互换；探头靠近样品自动触发测量；支持晶圆电阻率、体电阻率、方块电阻三种测量模式；可设置膜厚补偿参数，内置多组测试方案保存，测量数据可导出存档。电阻率测量范围 1mΩ・cm~200Ω・cm，方块电阻 10mΩ/sq~3kΩ/sq；测量点直径 Φ5~60mm；探头与样品间隙 0.1~10mm；不适合纯绝缘基材、厚块金属测试；更换探头或环境变化后，需要使用标准样片校准。

3、产品用材主机高强度 ABS 壳体；探头内置精密激励与接收感应线圈；探头外壳耐磨工程塑料；高屏蔽信号线；高清液晶显示模组。

4、核心参数表

参数项目	技术规格
型号	EC-80P
测量原理	涡流非接触式
测量项目	方块电阻、体电阻率、晶圆电阻率
电阻率量程	1mΩ·cm~200Ω·cm
方块电阻量程	10mΩ/sq~3kΩ/sq
探头配置	可同时接 2 支，多规格探头可选
触发方式	探头贴近样品自动测量
数据功能	方案存储，测量数据导出