描述：美国 ibss GV10x 下游式等离子灰化清洗器这款下游式等离子源，可在维持腔体真空的前提下完成原位除污。依靠自由基去除碳氢类污染物，离子轰击微弱，对样品损伤低，适配各类电子显微设备腔体，我司可配套提供安装工艺指导。

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厂商性质：代理商
更新时间：2026-11-13
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

美国 ibss GV10x 下游式等离子灰化清洗器美国 ibss GV10x 下游式等离子灰化清洗器

这款下游式等离子源，可在维持腔体真空的前提下完成原位除污。依靠自由基去除碳氢类污染物，离子轰击微弱，对样品损伤低，适配各类电子显微设备腔体，我司可配套提供安装工艺指导。

产品介绍产品细节图整套设备包含等离子源本体以及控制单元，控制单元分为台式机架款式可选；源体采用不锈钢真空结构，可搭配多种标准真空法兰，满足不同腔体对接需求。控制单元搭载触控交互界面，既可以本地直接操作，也能够通过配套软件和上位机通讯。标配等离子源主体、控制器以及通讯线缆；可选配不同规格真空法兰、供气组件；设备闲置时，需要在法兰位置加装保护环，避免刀口磕碰，破坏密封面。产品性能设备采用远程顺流等离子结构，活性自由基输送至腔体内部，减少高能离子对样品的溅射作用。射频输出功率可以在区间内连续调节，适配不同污染程度的清洗需求；支持多种工艺气体组合，能够适配高真空以及超高真空工况。清洗过程不需要打破腔体真空，不用增设复杂的隔离阀与预抽结构，在去除碳沉积污染时，拥有稳定的去除速率，适合需要长期观测的精密样品。用材源体壳体为不锈钢；内置射频发生组件；绝缘构件为氧化铝陶瓷；法兰为金属刀口密封结构；控制器壳体为喷涂金属板材；管线采用耐腐蚀真空管路。

项目	规格
型号	GV10x，包含标准款与 P6 超高真空版本
射频功率	5–100 W
工作压力	＜5 mTorr～2 Torr
可选工艺气体	氧气混合氩气、氢气混合氩气
控制器	BT 台式、2U 机架式
通讯方式	配套上位机软件，光电隔离

型号常规 GV10x 适配扫描电镜、聚焦离子束设备等高真空环境；GV10x‑P6 为超高真空版本，面向透射电镜、同步辐射装置。用途扫描电镜、聚焦离子束腔体原位除碳污染；透射电镜样品与腔体清洁；XPS、CD‑SEM 设备维护；同步辐射光学镜片污染物去除，样品灰化处理。

包装定制防震木箱，真空法兰配有独立保护件，附带原厂性能检测资料。使用说明安装操作遵循真空设备规范，保护法兰密封刀口；接入纯度符合要求的工艺气体；设备与精密分析仪器之间做好隔离，防止信号干扰；定期检查气路密封性，避免长时间满功率连续运行。

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