描述：日本岛津SHIMADZU 干式便携式氦质谱检漏仪
本设备为岛津 MSE-2400 系列无油干式氦质谱检漏仪，分为两款机型：MSE-2402 干泵外置分体便携款、MSE-2403 一体化推车带脚轮量产款，搭载自研 270° 磁场偏转分析管，支持氦气、氢气双介质定量检漏，全程无油真空系统，适配半导体、锂电、光学无尘车间，杜绝油泵油污污染工件与洁净环境。

日本岛津SHIMADZU 干式便携式氦质谱检漏仪

基础核心参数

1. 型号区分

• MSE-2402：干泵外置分体式，轻便易搬运，适合设备维修、实验室小样抽检

• MSE-2403：一体式移动推车带脚轮，干泵集成机身，适合产线连续大批量检测

2. 检测量程：10⁻¹³ ~ 10⁰ Pa・m³/s（氦气），可检测微量微漏至大泄漏

3. 可检气体：氦气 He、氢气 H₂双模式切换

4. 分析管：270° 磁场偏转，磁通密度 0.17T，双备用灯丝，带温度补偿自动校准

5. 真空机组：专用检漏分子拖拽泵 + 无接触干式干泵（50Hz 抽速 250L/min）

6. 真空监测：两路独立皮拉尼真空计，实时显示前级、测试口真空

7. 测试接口：标准 NW25KF 法兰，测试口耐受最大 1000Pa 进气压力

8. 操控输出：彩色触控面板；RS232C 串口、0~1V 模拟记录仪输出、外部联动 I/O

9. 供电规格：单相 AC100/200V 宽电压 50/60Hz，CE 安全认证

10. 整机重量：MSE-2402 分体主机较轻；MSE-2403 整机约 96kg

11. 运行环境：半导体无尘车间、锂电池产线、真空设备实验室、光学组件加工常温洁净工况

12. 适配配套：标准外置校准漏孔、NST-2400 吸枪组件、氦气回收单元、数据记录软件、铝制转运箱

13. 适配功能：真空腔体焊接焊缝检漏、锂电池壳体密封泄漏检测、半导体封装器件微漏筛查、液压 / 气动阀门气密性测试、波纹管管路接头检漏、光学镜片模组无尘检漏、第三方真空零部件合规检测、高校真空物理课题对照试验

日本岛津SHIMADZU 干式便携式氦质谱检漏仪

核心功能特点

1. 干式无油真空系统，无油泵、无油污挥发，无尘车间直接使用，不会污染锂电、半导体精密工件，洁净度适配性远超油式检漏仪

2. 270° 偏转质谱管，行业主流高精度结构，背景恢复速度快，微量微漏识别灵敏，长期检测漂移极小

3. 双灯丝备用设计，一支灯丝老化自动切换另一支，无需停机更换灯丝，保障产线不间断运行

4. 双气体检测模式，氦气高精度微量检漏、氢气低成本粗检灵活切换，兼顾精度与检测成本

5. 分体 / 推车双机型可选，维修巡检、量产流水线两种作业场景按需匹配，一套产线多工位灵活调配

6. 多路信号输出兼容自动化，数字串口 + 模拟电压 + 外部 I/O 联动，无缝对接流水线 PLC 实现无人值守分选

7. 常压耐受测试口，工件无需深度预抽即可接入，大幅缩短单件检测节拍，提升产线产能

8. 整机自动故障自诊断，真空异常、灯丝损耗、泵体故障屏幕直接显示代码，快速定位维修

9. 移动脚轮 + 推车一体化（MSE-2403），车间多工位转运方便，固定后锁止脚轮稳定无震动

10. 每一批次检漏漏率、真空度、检测时长带时间戳完整存储，检测报告可直接用于无尘车间 ISO、客户审厂归档

适用场景

1. 锂电池新能源产线，软包 / 硬壳电池壳体焊缝、封口密封泄漏批量筛查，杜绝电解液渗漏

2. 半导体封装车间，芯片、真空腔体、真空阀门微漏高精度检测，保障器件真空寿命

3. 真空设备制造厂区，分子泵、腔体、波纹管、真空法兰焊接气密性验收

4. 光学精密组件加工，镜头模组、真空镀膜腔体无尘检漏，无油污污染镜片

5. 液压气动零部件工厂，精密阀门、管路接头高压密封泄漏定量检测

6. 设备售后维修工位（MSE-2402），现场上门检修真空设备、管路漏点定位

7. 第三方真空检测机构，标准化干式检漏设备，完整留存可溯源密封检测记录

8. 高校真空实验室，真空物理、密封材料课题对照试验，统一检漏基准保障数据可复现